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1. (WO2016083610) FESTKÖRPERTEILUNG MITTELS STOFFUMWANDLUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2016/083610    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2015/077981
Veröffentlichungsdatum: 02.06.2016 Internationales Anmeldedatum: 27.11.2015
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    27.09.2016    
IPC:
B23K 26/00 (2014.01), B23K 26/402 (2014.01)
Anmelder: SILTECTRA GMBH [DE/DE]; im TZ Dresden Nord - Haus "E" Manfred-von-Ardenne-Ring 20 01099 Dresden (DE)
Erfinder: RICHTER, Jan; (DE).
BEYER, Christian; (DE).
RIESKE, Ralf; (DE)
Vertreter: ASCHERL, Andreas; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2014 017 583.9 27.11.2014 DE
10 2014 017 582.0 27.11.2014 DE
10 2014 018 720.9 17.12.2014 DE
10 2014 018 841.8 17.12.2014 DE
10 2015 000 449.2 15.01.2015 DE
Titel (DE) FESTKÖRPERTEILUNG MITTELS STOFFUMWANDLUNG
(EN) SPLITTING OF A SOLID USING CONVERSION OF MATERIAL
(FR) SÉPARATION DE CORPS SOLIDE AU MOYEN DE LA TRANSFORMATION DE MATIÈRE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Erzeugen eines Ablösebereichs (2) in einem Festkörper (1) zum Ablösen eines Festkörperanteils (12), insbesondere einer Festkörperschicht (12), von dem Festkörper (1), wobei der abzulösende Festkörperanteil (12) dünner ist als der um den Festkörperanteil (12) reduzierte Festkörper. Erfindungsgemäß umfasst das Verfahren mindestens die Schritte: Bereitstellen eines zu bearbeitenden Festkörpers (1), wobei der Festkörper (1) bevorzugt aus einer chemischen Verbindung besteht; Bereitstellen einer LASER-Lichtquelle; Beaufschlagen des Festkörpers (1) mit LASER-Strahlung der LASER-Lichtquelle, wobei die Laserstrahlen über eine Oberfläche (5) des abzutrennenden Festkörperanteils (12) in den Festkörper (1) eindringen, wobei die LASER-Strahlung einen vorgegebenen Anteil des Festkörpers (1) im Inneren des Festkörpers (1) zur Ausbildung eines Ablösebereichs (2) oder mehrerer Teilablösebereiche (25, 27, 28, 29) definiert beaufschlagt, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Laserbeaufschlagung nacheinander mehrere Modifikationen (9) in dem Kristallgitter erzeugt werden, wobei das Kristallgitter in Folge der Modifikationen (9) in den die Modifikationen (9) umgebenden Bereichen zumindest in jeweils einem Anteil davon einreist, wobei durch die Risse im Bereich der Modifikationen (9) der Ablösebereich (2) vorgegeben wird oder mehrere Teilablösebereiche (25, 27, 28, 29) vorgegeben werden.
(EN)The invention relates to a method for creating a detachment zone (2) in a solid (1) in order to detach a solid portion (12), especially a solid layer (12), from the solid (1), said solid portion (12) that is to be detached being thinner than the solid from which the solid portion (12) has been removed. According to the invention, the method comprises at least the steps of: providing a solid (1) which is to be processed and which is preferably made of a chemical compound; providing a LASER light source; subjecting the solid (1) to LASER radiation from the LASER light source so that the laser beams penetrate into the solid (1) via a surface (5) of the solid portion (12) that is to be cut off; the LASER radiation is applied in a defined manner to a predefined portion of the solid (1) inside the solid (1) such that a detachment zone (2) or a plurality of partial detachment zones (25, 27, 28, 29) is formed; the method is characterized in that a number of modifications (9) is successively created in the crystal lattice by the applied laser radiation, and the crystal lattice fissures at least partially in the regions surrounding the modifications (9) as a result of the modifications (9), said fissures in the region of the modifications (9) predefining the detachment zone (2) or a plurality of partial detachment zones (25, 27, 28, 29).
(FR)La présente invention concerne un procédé permettant de produire une zone de séparation (2) dans un corps solide (1) de manière à séparer une partie (12) dudit corps solide, en particulier une couche (12) de corps solide, dudit corps solide (1), la partie (12) du corps solide à détacher étant plus mince que le corps solide réduit de ladite partie (12). Selon l'invention, ledit procédé comprend au moins les étapes suivantes : préparation d'un corps solide (1) à usiner, ledit corps solide (1) étant constitué de préférence d'un composé chimique; préparation d'une source de lumière laser; application d'un rayonnement laser produit par la source de lumière laser sur le corps solide (1), les faisceaux laser pénétrant dans le corps solide (1) par une surface (5) de la partie (12) du corps solide à séparer, les faisceaux laser affectant de manière définie une partie prédéfinie du corps solide (1) à l'intérieur dudit corps solide (1) pour former une zone de séparation (2) ou plusieurs parties de zone de séparation (25, 27, 28, 29). Ledit procédé est caractérisé en ce que l'exposition au laser produit plusieurs modifications (9) successives dans le réseau cristallin, ledit réseau cristallin pénétrant, à la suite des modifications (9), dans les zones entourant lesdites modifications (9), au moins dans une partie desdites zones, la zone de séparation (2) étant prédéfinie ou plusieurs parties de zone de séparation (25, 27, 28, 29) étant prédéfinies par les fissures dans la zone des modifications (9).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)