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1. (WO2016083373) VERFAHREN ZUM KALIBRIEREN EINER PYROMETERANORDNUNG EINES CVD- ODER PVD-REAKTORS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2016/083373    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2015/077502
Veröffentlichungsdatum: 02.06.2016 Internationales Anmeldedatum: 24.11.2015
IPC:
C23C 14/54 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01), G01J 5/52 (2006.01), G01J 5/60 (2006.01), G01J 5/08 (2006.01)
Anmelder: AIXTRON SE [DE/DE]; Dornkaulstrasse 2 52134 Herzogenrath (DE)
Erfinder: VAN WELL, Ben Russell; (GB).
TIMANS, Paul, Janis; (GB)
Vertreter: GRUNDMANN, Dirk; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2014 117 388.0 27.11.2014 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUM KALIBRIEREN EINER PYROMETERANORDNUNG EINES CVD- ODER PVD-REAKTORS
(EN) METHOD FOR CALIBRATING A PYROMETER ARRANGEMENT OF A CVD OR PVD REACTOR
(FR) PROCÉDÉ POUR ÉTALONNER UN ENSEMBLE PYROMÈTRE D'UN RÉACTEUR DE CVD OU DE PVD
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren einer Pyrometeranordnung zum Messen der Oberflächentemperatur eines auf einem Suszeptor eines CVD-/ oder PVD-Reaktors aufliegenden Substrats, wobei die Pyrometeranordnung ein erstes, in einem schmalen Spektralbereich mit einer Bandbreite kleiner als 20 nm empfindliches, werksseitig oder in einem Vorkalibrierschritt vorkalibriertes Pyrometer und mindestens ein zweites, in einem zweiten, breitbandigen Spektralbereich mit einer Bandbreite größer als 100 nm empfindliches Pyrometer aufweist, bei dem in einem ersten Schritt das erste Pyrometer kalibriert wird und in einem zweiten Schritt der Suszeptor oder ein Kalibrierelement auf eine Kalibriertemperatur oder nacheinander auf mehrere voneinander verschiedene Kali- briertemperaturen (T1, T2, T3, T4) temperiert wird, die mit dem ersten Pyrometer gemessen wird und als Stützstelle (S1, S2, S3, S4) zur Bestimmung einer Kennlinie des zweiten Pyrometers verwendet wird.
(EN)The invention relates to a method for calibrating a pyrometer arrangement for measuring the surface temperature of a substrate resting on a susceptor of a CVD or PVD reactor. Said pyrometer arrangement comprises a first pyrometer which is precalibrated in a factory or in a precalibrating step, which is sensitive in a narrow spectral range having a width of less than 20nm, and at least one second pyrometer which is sensitive in a second, wide spectral range having a width of more than 100nm. According to said method, in a first step, the first pyrometer is calibrated and in a second step, the susceptor or a calibrating element is tempered to a calibration temperature or subsequently to several calibrating temperatures (T1, T2, T3, T4) which are different from each other, which is measured by the first pyrometer and is used as a reference point (S1, S2, S3, S4) for determining a characteristic curve of the second pyrometer.
(FR)L'invention concerne un procédé pour étalonner un ensemble pyromètre servant à mesurer la température superficielle d'un substrat déposé sur un suscepteur d'un réacteur de CVD et/ou de PVD, l'ensemble pyromètre présentant un premier pyromètre pré-étalonné en usine ou lors d'une étape de pré-étalonnage, sensible dans une bande spectrale étroite, d'une largeur inférieure à 20 nm, et au moins un deuxième pyromètre sensible dans une deuxième bande spectrale, large, d'une largeur supérieure à 100 nm. Ce procédé consiste, dans une première étape, à étalonner le premier pyromètre et, dans une deuxième étape, à thermoréguler le suscepteur ou un élément d'étalonnage à une température d'étalonnage ou successivement à plusieurs températures d'étalonnage (T1, T2, T3, T4) différentes les unes des autres, mesurée(s) au moyen du premier pyromètre et servant de point de référence (S1, S2, S3, S4) pour déterminer une courbe caractéristique du deuxième pyromètre.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)