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1. (WO2016082826) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UNTERSEITIGEN BEHANDLUNG EINES SUBSTRATS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2016/082826    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/DE2015/100502
Veröffentlichungsdatum: 02.06.2016 Internationales Anmeldedatum: 24.11.2015
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
Anmelder: RENA TECHNOLOGIES GMBH [DE/DE]; Höhenweg 1 78148 Gütenbach (DE)
Erfinder: WEISE, Katrin; (DE).
SANDER, Bernd-Uwe; (DE).
QUEISSER, Steffen; (DE).
GANTER, Patrick; (DE).
PEDIADITAKIS, Stephan, Alexis; (DE)
Vertreter: HEYERHOFF GEIGER & PARTNER PATENTANWÄLTE PARTGMBB; Heiligenbreite 52 88662 Überlingen (DE)
Prioritätsdaten:
10 2014 117 276.0 25.11.2014 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR UNTERSEITIGEN BEHANDLUNG EINES SUBSTRATS
(EN) METHOD AND DEVICE FOR TREATING THE UNDERSIDE OF A SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR LE TRAITEMENT DE LA FACE INFÉRIEURE D'UN SUBSTRAT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Verfahren zum unterseitigen Behandeln eines flächigen Substrats (10) mit einem Behandlungsmedium (70), bei welchem eine Unterseite (14) des Substrats hydrophobiert wird, nachfolgend auf einer Oberseite (15) des Substrats (10) ein Schutzflüssigkeitsfilm (66) ausgebildet wird, nachfolgend das Behandlungsmedium (70) mit der Unterseite (14) des Substrats (10) in Kontakt gebracht und dabei die Oberseite (15) mittels des Schutzflüssigkeitsfilms (66) gegen ein Einwirken des Behandlungsmediums (70) und/oder dessen Ausgasungen geschützt wird, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
(EN)The invention relates to a method for treating the underside of a flat substrate (10) with a treatment medium (70), in which an underside (14) of the substrate is made water-repellent, subsequently a protective liquid film (66) is formed on the upper side (15) of the substrate, then the treatment medium (70) is brought into contact with the underside (14) of the substrate (10) and the upper side (15) is protected from the effect of the treatment medium (70) and/or the gassing by means of the protective liquid film (66). The invention also relates to a device for carrying out said method.
(FR)L'invention concerne un procédé pour le traitement de la face inférieure d'un substrat (10) plat, au moyen d'un milieu de traitement (70), procédé consistant à rendre hydrophobe une face inférieure (14) du substrat, puis à former un film liquide protecteur (66) sur une face supérieure (15) du substrat (10), et à mettre ensuite le milieu de traitement (70) en contact avec la face inférieure (14) du substrat (10), la face supérieure (15) étant alors protégée par le film liquide protecteur (66) contre l'action du milieu de traitement (70) et/ou contre ses émanations gazeuses. L'invention concerne également un dispositif pour la mise en œuvre dudit procédé.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)