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1. (WO2016062420) PROZESSKAMMERANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM BESTRAHLEN EINES SUBSTRATS IN EINER PROZESSKAMMER

Pub. No.:    WO/2016/062420    International Application No.:    PCT/EP2015/067405
Publication Date: Fri Apr 29 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Thu Jul 30 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01L 21/677
H01L 21/67
Applicants: VON ARDENNE GMBH
Inventors: HAASEMANN, Georg
KHVOSTIKOVA, Olga
Title: PROZESSKAMMERANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM BESTRAHLEN EINES SUBSTRATS IN EINER PROZESSKAMMER
Abstract:
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren Folgendes aufweisen: Transportieren eines Substrats entlang einer Transportrichtung in einem Bestrahlungsbereich einer Prozesskammer, wobei der Bestrahlungsbereich mittels einer Blendenstruktur auf eine Bestrahlungsbereichslänge, L, in Transportrichtung begrenzt ist; wobei die Bestrahlungsbereichslänge kleiner ist als eine Substratlänge des Substrats in Transportrichtung; und ein erstes Bestrahlen des Substrats in dem Bestrahlungsbereich und danach ein zweites Bestrahlen des Substrats in dem Bestrahlungsbereich, während das Substrat mit einer Transportgeschwindigkeit, V, transportiert wird, wobei der zeitliche Abstand des ersten Bestrahlens und des zweiten Bestrahlens größer als L/2V ist, so dass mindestens ein erster Bereich des Substrats genau einmal bestrahlt wird, und wobei der zeitliche Abstand des ersten Bestrahlens und des zweiten Bestrahlens kleiner als L/V ist, so dass mindestens ein zweiter Bereich des Substrats genau zweimal bestrahlt wird.