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1. (WO2016062303) VERFAHREN ZUM BEARBEITEN EINES ELEKTRISCH NICHT LEITENDEN ODER HALBLEITENDEN MATERIALS

Pub. No.:    WO/2016/062303    International Application No.:    PCT/DE2015/100434
Publication Date: Fri Apr 29 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Wed Oct 21 01:59:59 CEST 2015
IPC: C03B 33/02
B23K 26/14
B23K 26/38
C03B 23/20
B23K 26/064
B23K 26/0622
B23K 103/00
Applicants: 4JET MICROTECH GMBH & CO. KG
Inventors: STUTE, Uwe
MOALEM, Anas
Title: VERFAHREN ZUM BEARBEITEN EINES ELEKTRISCH NICHT LEITENDEN ODER HALBLEITENDEN MATERIALS
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten eines elektrisch nicht leitenden oder halbleitenden Materials, das für elektromagnetische Strahlung zumindest einer Transparenzwellenlänge transparent ist, wobei bei dem Verfahren das zu bearbeitende Material mit gepulster Laserstrahlung bestrahlt wird, die eine Strahlungswellenlänge aufweist, die der Transparenzwellenlänge entspricht, und das zu bearbeitende Material mit einem elektrischen und/oder magnetischen Zusatzfeld beaufschlagt wird.