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1. (WO2016058905) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SCHICHTDICKENMESSUNG FÜR DAMPFABSCHEIDEVERFAHREN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2016/058905    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2015/073304
Veröffentlichungsdatum: 21.04.2016 Internationales Anmeldedatum: 08.10.2015
IPC:
G01N 29/02 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01), G01B 17/02 (2006.01), G01N 29/036 (2006.01), G01B 7/06 (2006.01), G01N 29/12 (2006.01)
Anmelder: MANZ CIGS TECHNOLOGY GMBH [DE/DE]; Alfred-Leikam-Straße 25 74523 Schwäbisch Hall (DE)
Erfinder: GÄNG, Matthias; (DE).
PISCH, Michael; (DE).
SCHÄFER, Michael; (DE).
SCHUSTER, Jens; (DE).
SORGENFREI, Ralf; (DE).
VOORWINDEN, Georg; (DE)
Vertreter: WEILNAU, Carsten; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2014 014 970.6 14.10.2014 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SCHICHTDICKENMESSUNG FÜR DAMPFABSCHEIDEVERFAHREN
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR LAYER THICKNESS MEASUREMENT FOR A VAPOUR DEPOSITION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE COUCHE DESTINÉS À UN PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Messanordnung zur Schichtdickenmessung einer mittels eines Dampfabscheideverfahrens auf einem Substrat aufbringbaren Schicht, mit: einem Messkopf (30), welcher mit zumindest einem Schwingplättchen (50, 52) versehenen ist, einer Auskoppelstrecke (12), welche mit einem ersten Ende (12a) mit einer Vakuumkammer (20) für das Dampfabscheideverfahren gas- oder dampfführend koppelbar ist und welche mit einem gegenüberliegenden zweiten Ende (12b) mit dem Messkopf (30) gas- oder dampfführend koppelbar ist, wobei die Auskoppelstrecke (12) zumindest einen Heizungsabschnitt (16) oder zumindest einen Kühlabschnitt (18) aufweist.
(EN)The present invention relates to a method and measuring arrangement for layer thickness measurement of a layer which can be applied to a substrate by means of a vapour deposition method, comprising: - a measuring head (30) which is provided with at least one vibration plate (50, 52), an extraction line (12) which can be coupled in a gas or vapour conducting manner with a first end (12a) comprising a vacuum chamber (20) for the vapour deposition method and which can be coupled in a gas or vapour conducting manner with an opposite second end (12b) comprising the measuring head (30), wherein the extraction line (12) comprises at least one heating section (16) or at least one cooling section (18).
(FR)La présente invention concerne un procédé et un système de mesure destinés à la mesure d'épaisseur d'une couche applicable sur un substrat par un procédé de dépôt en phase vapeur, comprenant : - une tête de mesure (30) qui est pourvue d'au moins une plaquette oscillante (50, 52), un parcours d'extraction (12) dont une première extrémité (12a) peut être couplée à une chambre à vide (20) en liaison fluidique de gaz ou de vapeur pour le procédé de dépôt en phase vapeur, et dont une deuxième extrémité (12b) opposée, peut être couplée à la tête de mesure (30) en liaison fluidique de gaz ou de vapeur, le parcours d'extraction (12) présentant au moins une section de chauffage (16) ou au moins une section de refroidissement (18).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)