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1. (WO2016055549) REINIGUNG VON CHLORSILANEN MITTELS DESTILLATION UND ADSORPTION

Pub. No.:    WO/2016/055549    International Application No.:    PCT/EP2015/073195
Publication Date: Fri Apr 15 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Thu Oct 08 01:59:59 CEST 2015
IPC: B01D 3/14
C01B 33/107
Applicants: WACKER CHEMIE AG
Inventors: AIGNER, Maximilian
PAETZOLD, Uwe
PROCHASKA, Jan
Title: REINIGUNG VON CHLORSILANEN MITTELS DESTILLATION UND ADSORPTION
Abstract:
Gegenstand der Erfindung sind Verfahren und Vorrichtungen zur destillativen Trennung eines Mehrkomponentengemisches, enthaltend Dichlorsilan, Trichiorsilan, Siliciumtetrachlorid und wenigstens eine bor-, phosphor- oder arsenhaltige Verunreinigung, um das Zielprodukt Trichiorsilan in möglichst hoher Reinheit abzutrennen, wobei Destillationskolonnen unter Verwendung einer abgewandelten Trennwandtechnologie sowie Adsorber zur Abtrennung der wenigstens einen bor-, phosphor- oder arsenhaltigen Verunreinigung zum Einsatz kommen.