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1. (WO2016055443) SPLITTING-VERFAHREN UND VERWENDUNG EINES MATERIALS IN EINEM SPLITTING-VERFAHREN

Pub. No.:    WO/2016/055443    International Application No.:    PCT/EP2015/072990
Publication Date: Fri Apr 15 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Wed Oct 07 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01L 21/304
H01L 21/02
H01L 31/18
Applicants: SILTECTRA GMBH
Inventors: DRESCHER, Wolfram
RICHTER, Jan
BEYER, Christian
Title: SPLITTING-VERFAHREN UND VERWENDUNG EINES MATERIALS IN EINEM SPLITTING-VERFAHREN
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Splitting-Verfahren zur Teilung eines Festkörper-Ausgangsmaterial in zumindest zwei Festkörper-Teilstücke und die Verwendung eines Materials in einem solchen Splitting-Verfahren. Zur Erhöhung der Gesamtausbeute eines Splitting-Verfahrens wird die Verwendung eines Polymer-Hybrid-Materials vorgeschlagen, welches einen oder mehrere Füllstoffe in einer Polymermatrix enthält. Ein entsprechendes Splitting-Verfahren umfasst die Schritte des Bereitstellens des Festkörper-Ausgangsmaterials mit zumindest einer freiliegenden Oberfläche, des Aufbringens eines Polymer-Hybrid-Materials, welches Füllstoffe in einer Polymermatrix enthält, auf zumindest eine freiliegende Oberfläche des Festkörper-Ausgangsmaterial, so dass eine Verbundstruktur resultiert und die Beaufschlagung der Verbundstruktur mit einem Spannungsfeld derart, dass das Festkörper-Ausgangsmaterial entlang einer Ebene innerhalb des Festkörper-Ausgangsmaterials in zumindest zwei Festkörper-Teilstücke gespalten wird.