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1. (WO2016055213) VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINES RÄUMLICHEN VERSCHIEBUNGSVEKTORFELDES EINES PRÜFOBJEKTES

Pub. No.:    WO/2016/055213    International Application No.:    PCT/EP2015/069413
Publication Date: Fri Apr 15 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Wed Aug 26 01:59:59 CEST 2015
IPC: G01B 11/16
G06T 7/20
Applicants: LAVISION GMBH
Inventors: WIENEKE, Bernhard
Title: VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINES RÄUMLICHEN VERSCHIEBUNGSVEKTORFELDES EINES PRÜFOBJEKTES
Abstract:
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Ermittlung eines räumlichen Verschiebungsvektorfeldes ((dx, dy, dz)) eines Prüfobjektes, bei dem von dem Prüfobjekt wenigstens ein Projektionsmusterbild, bei dessen Aufnahme das Prüfobjekt mit einem räumlich modulierten, auf das Prüfobjekt projizierten Projektionsmuster beleuchtet wird, aufgenommen und mit einer Referenz verglichen wird. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass a) eine Kombination einer ersten mathematischen Funktion (P(x-dxp, y-dyp)) und einer zweiten mathematischen Funktion (S(x-dxs, y-dys)) von Flächenvariablen (x, y) als ein mathematisches Modell des Projektionsmusterbildes erstellt wird, wobei a1 ) die erste mathematische Funktion (P(x-dxp, y-dyp)) ein mathematisches Modell des um ein erstes ebenes Verschiebungsvektorfeld ((dxp, dyp)) verzerrten Projektionsmusters ist und a2) die zweite mathematische Funktion (S(x-dxs, y-dys)) ein mathematisches Modell eines um ein zweites ebenes Verschiebungsvektorfeld ((dxs, dys)) verzerrten Referenzbildes, welches zu einem Referenzzeitpunkt (tref) als ein Eigenmusterbild des Prüfobjektes aufgenommen wurde, ist, b) mittels eines mathematischen Fehlerminimierungsverfahrens die ebenen Verschiebungsvektorfelder ((dxp, dyp), (dxs, dys)) solange variiert werden, bis eine Übereinstimmung zwischen dem mathematischen Modell des Projektionsmusterbildes und dem aufgenommenen Projektionsmusterbild erzielt ist, und c) das aus denjenigen variierten ebenen Verschiebungsvektorfeldern ((dxp, dyp), (dxs, dys)), die in Schritt b zur genannten Übereinstimmung geführt haben, das räumliche Verschiebungsvektorfeld ((dx, dy, dz)) berechnet wird.