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1. (WO2016030243) FACET MIRROR FOR AN ILLUMINATION OPTICAL UNIT FOR PROJECTION LITHOGRAPHY
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2016/030243    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2015/069020
Veröffentlichungsdatum: 03.03.2016 Internationales Anmeldedatum: 19.08.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Erfinder: DEGÜNTHER, Markus; (DE).
PATRA, Michael; (DE)
Vertreter: RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Prioritätsdaten:
10 2014 216 801.5 25.08.2014 DE
Titel (EN) FACET MIRROR FOR AN ILLUMINATION OPTICAL UNIT FOR PROJECTION LITHOGRAPHY
(FR) MIROIR À FACETTES DESTINÉ À UNE UNITÉ OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE POUR LA LITHOGRAPHIE PAR PROJECTION
Zusammenfassung: front page image
(EN)A facet mirror (11) for an illumination optical unit for projection lithography has a plurality of used facets (12) which in each case reflect an illumination light partial beam. The facet mirror (11) has at least one change subunit (161, 162, 163) having a plurality of change facets (12; 121, 121') arranged jointly on a facet carrier, which change facets can be positioned alternatively at the used location of exactly one used facet (12). This results in a facet mirror with which different illumination geometries or illumination settings can be set operationally reliably and stably.
(FR)L'invention concerne un miroir à facettes (11) destiné à une unité optique d'éclairage pour la lithographie par projection. Ce miroir à facettes (11) est doté d'une pluralité de facettes (12) utilisées qui, dans chaque cas, réfléchissent un faisceau lumineux partiel pour l'éclairage. Le miroir à facettes (11) a au moins une sous-unité de changement (161, 162, 163) possédant une pluralité de facettes de changement (12 ; 121, 121') disposées conjointement sur un support de facettes, et ces facettes de changement peuvent être positionnées alternativement sur l'emplacement utilisé d'exactement une facette (12) utilisée. Il en résulte un miroir à facettes qui permet d'obtenir différentes géométries d'éclairage ou différents réglages d'éclairage pouvant être définis de façon fiable et stable sur le plan du fonctionnement.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: English (EN)
Anmeldesprache: English (EN)