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1. (WO2016012268) SPUTTERTARGET AUF DER BASIS EINER SILBERLEGIERUNG

Pub. No.:    WO/2016/012268    International Application No.:    PCT/EP2015/065800
Publication Date: Fri Jan 29 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Sat Jul 11 01:59:59 CEST 2015
IPC: C23C 14/34
Applicants: HERAEUS DEUTSCHLAND GMBH & CO. KG
Inventors: SCHLOTT, Martin
HERZOG, Andreas
SCHOLL, Thomas
KONIETZKA, Uwe
Title: SPUTTERTARGET AUF DER BASIS EINER SILBERLEGIERUNG
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Sputtertarget, umfassend eine Silberlegierung, die 5-25 Gew% Palladium, bezogen auf die Gesamtmenge der Silberlegierung, enthält und eine mittlere Korngröße im Bereich von 25-90 μιη aufweist.