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1. (WO2016012021) AKTORVORRICHTUNG

Pub. No.:    WO/2016/012021    International Application No.:    PCT/DE2015/200411
Publication Date: Fri Jan 29 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Jul 23 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01L 41/053
Applicants: PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH &. CO. KG
Inventors: MARTH, Harry
PERTSCH, Patrick
ZHAO, Oskar, Xiabin
Title: AKTORVORRICHTUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Aktorvorrichtung mit wenigstens vier elektrisch ansteuerbaren, längenveränderlichen Aktoren, die jeweils durch ein separates Gehäuse mit einem integral ausgebildeten federnden Abschnitt in ihrer Längenänderungsrichtung mit einer Druckkraft beaufschlagt sind, wobei jedes Gehäuse einstückig mit einem für alle Gehäuse gemeinsamen Basiselement ausgeführt ist. Zudem betrifft die Erfindung eine (Array-)Anordnung mit einer Vielzahl solcher Aktorvorrichtungen.