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1. (WO2016008844) VAKUUMANLAGE, INSBESONDERE PLASMAANLAGE, MIT EINEM RUNDUM GESCHLOSSENEN KAMMERSTRANGPRESSPROFIL
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2016/008844 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2015/065968
Veröffentlichungsdatum: 21.01.2016 Internationales Anmeldedatum: 13.07.2015
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 14.04.2016
IPC:
H01J 37/16 (2006.01) ,H01J 37/32 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01) ,A61L 2/14 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37
Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
02
Einzelheiten
16
Gefäße; Behälter
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37
Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
32
Gasgefüllte Entladungsröhren
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
A Täglicher Lebensbedarf
61
Medizin oder Tiermedizin; Hygiene
L
Verfahren oder Vorrichtungen zum Sterilisieren von Stoffen oder Gegenständen allgemein; Desinfizieren, Sterilisieren oder Desodorieren von Luft; chemische Gesichtspunkte von Bandagen, Verbänden, absorbierenden Kissen oder chirurgischen Materialien; Materialien für Bandagen, Verbände, absorbierende Kissen oder chirurgische Artikel
2
Verfahren oder Vorrichtungen zum Desinfizieren oder Sterilisieren von Stoffen oder Gegenständen, außer von Nahrungsmitteln oder Kontaktlinsen; Zubehör dafür
02
Anwendung physikalischer Erscheinungen
14
Plasma, d.h. ionisierte Gase
Anmelder: DIENER, Christof-Herbert[DE/DE]; DE
Erfinder: DIENER, Christof-Herbert; DE
Vertreter: KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTG MBB; Ruppmannstr. 27 70565 Stuttgart, DE
Prioritätsdaten:
10 2014 213 942.217.07.2014DE
Titel (EN) VACUUM SYSTEM, IN PARTICULAR A PLASMA SYSTEM, HAVING A COMPLETELY ENCLOSED CHAMBER EXTRUDED PROFILE
(FR) INSTALLATION SOUS VIDE, NOTAMMENT INSTALLATION À PLASMA, AYANT UN PROFIL EXTRUDÉ DE CHAMBRE INTÉGRALEMENT FERMÉ
(DE) VAKUUMANLAGE, INSBESONDERE PLASMAANLAGE, MIT EINEM RUNDUM GESCHLOSSENEN KAMMERSTRANGPRESSPROFIL
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a vacuum system (10), in particular in the form of a plasma system. The vacuum system (10) has a vacuum chamber (12), the side walls of the vacuum chamber (12) being designed in the shape of a continuously closed chamber extruded profile. A first end face of the chamber extruded profile is preferably closed with a plate. A second end face of the chamber extruded profile, which is diametrically opposite the first end face, has a reversibly openable and closeable door (16). The door (16) is fixed preferably by at least one hinge (18, 20) pivotably on the chamber extruded profile. The continuously closed side walls transverse to the longitudinal axis of the chamber extruded profile enable a simple and cost-efficient manufacture of the vacuum chamber (12). The vacuum chamber (12) is preferably accommodated at least partially in a housing (14) which is likewise formed at least partially in the form of an extruded profile.
(FR) L'invention concerne une installation sous vide (10), notamment sous la forme d'une installation à plasma. L'installation sous vide (10) possède une chambre à vide (12), les parois latérales de la chambre à vide (12) sont réalisées sous la forme d'un profilé extrudé de chambre intégralement fermé. Un premier côté frontal du profil extrudé de chambre est de préférence fermé par une plaque. Un deuxième côté frontal du profilé extrudé de chambre, qui se trouve à l'opposé du premier côté, possède une porte (16) qui peut être ouverte et fermée de manière réversible. La porte (16) est fixée de manière pivotante au profilé extrudé de chambre, de préférence par au moins une charnière (18, 20). Les parois latérales entièrement fermées dans le sens transversal par rapport à l'axe longitudinal du profilé extrudé de chambre permettent une fabrication aisée et peu coûteuse de la chambre à vide (12). La chambre à vide (12) est accueillie de préférence au moins partiellement dans un boîtier (14), lequel est lui aussi au moins partiellement réalisé sous la forme d'un profilé extrudé.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vakuumanlage (10), insbesondere in Form einer Plasmaanlage. Die Vakuumanlage (10) weist eine Vakuumkammer (12) auf, Die Seitenwände der Vakuumkammer (12) sind in Form eines durchgängig geschlossenen Kammerstrangpressprofils ausgebildet. Eine erste Stirnseite des Kammerstrangpressprofils ist bevorzugt mit einer Platte verschlossen. Eine zweite Stirnseite des Kammerstrangpressprofils, die der ersten Stirnseite gegenüberliegt, weist eine reversibel offen- und schließbare Tür (16) auf. Die Tür (16) ist bevorzugt durch zumindest ein Scharnier (18, 20) schwenkbar an dem Kammerstrangpressprofil befestigt. Die quer zur Längsachse des Kammerstrangpressprofils vollständig geschlossenen Seitenwände ermöglichen eine einfache und kostengünstige Fertigung der Vakuumkammer (12). Bevorzugt ist die Vakuumkammer (12) zumindest teilweise in einem Gehäuse (14) aufgenommen, das zumindest teilweise ebenfalls in Form eines Strangpressprofils ausgebildet ist.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)