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1. (WO2016008768) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM LASERBASIERTEN BEARBEITEN VON FLÄCHIGEN, KRISTALLINEN SUBSTRATEN, INSBESONDERE VON HALBLEITERSUBSTRATEN

Pub. No.:    WO/2016/008768    International Application No.:    PCT/EP2015/065476
Publication Date: Fri Jan 22 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Wed Jul 08 01:59:59 CEST 2015
IPC: B23K 26/00
B23K 26/06
B23K 26/073
B23K 26/0622
B23K 101/40
Applicants: INNOLAS SOLUTIONS GMBH
Inventors: BÖHME, Rico
WEBER, Daniel
Title: VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM LASERBASIERTEN BEARBEITEN VON FLÄCHIGEN, KRISTALLINEN SUBSTRATEN, INSBESONDERE VON HALBLEITERSUBSTRATEN
Abstract:
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum laserbasierten Bearbeiten eines flächigen, kristallinen Substrats, um das Substrat in mehrere Teile zu trennen, bei dem der Laserstrahl (2a, 2f) eines Lasers (3) zum Bearbeiten des Substrats (1) auf letzteres gerichtet wird, bei dem mit einer im Strahlengang des Lasers (3) positionierten optischen Anordnung (6) aus dem auf letztere eingestrahlten Laserstrahl (2a) strahlausgangsseitig der optischen Anordnung (6) eine sowohl längs der Strahlrichtung (z) gesehen als auch in genau eine erste Richtung (y) senkrecht zur Strahlrichtung (z) gesehen ausgedehnte, jedoch nicht in eine zweite Richtung (x), die sowohl senkrecht zur ersten Richtung (y) als auch zur Strahlrichtung (z) ist, ausgedehnte Laserstrahlbrennfläche (2f) geformt wird, wobei das Substrat (1) relativ zur Laserstrahlbrennfläche (2f) so positioniert wird, dass die Laserstrahlbrennfläche (2f) im Inneren des Substrats (1) entlang eines ausgedehnten Flächenabschnitts (2c) des Substratmaterials eine induzierte Absorption erzeugt, durch die entlang dieses ausgedehnten Flächenabschnitts (2c) induzierte Rissbildungen im Substratmaterial erfolgen.