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1. (WO2016005262) VORRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR EINE SPEKTRAL AUFGELÖSTE VERMESSUNG EINES OBJEKTS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2016/005262 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2015/065094
Veröffentlichungsdatum: 14.01.2016 Internationales Anmeldedatum: 02.07.2015
IPC:
G01J 3/02 (2006.01) ,G01J 3/12 (2006.01) ,G01J 3/14 (2006.01) ,G01J 3/18 (2006.01) ,G01J 3/433 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3
Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
02
Einzelheiten
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3
Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
12
Erzeugen des Spektrums; Monochromatoren
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3
Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
12
Erzeugen des Spektrums; Monochromatoren
14
durch brechende Elemente, z.B. Prismen
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3
Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
12
Erzeugen des Spektrums; Monochromatoren
18
durch Beugungselemente, z.B. Gitter
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3
Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
28
Untersuchen des Spektrums
42
Absorptions-Spektrometrie; Zweistrahl- Spektrometrie; Wechsellicht-Spektrometrie; Reflexions-Spektrometrie
433
Modulations-Spektrometrie; Ableitungs- Spektrometrie [Derivative Spectrometry]
Anmelder:
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Erfinder:
KARCHER, Christian; DE
SCHACHTNER, Michael; DE
MISSBACH, Thomas; DE
Vertreter:
DICKER, Jochen; DE
Prioritätsdaten:
10 2014 213 575.311.07.2014DE
Titel (EN) DEVICE AND METHOD FOR A SPECTRALLY RESOLVED MEASUREMENT OF AN OBJECT
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE À RÉSOLUTION SPECTRALE D'UN OBJET
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR EINE SPEKTRAL AUFGELÖSTE VERMESSUNG EINES OBJEKTS
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a device for a spectrally resolved measurement of an object, comprising a light source for generating a broadband output beam, an optical dispersion unit for spectrally dispersing the output beam into at least one first and second spectral sub-beam, a light modulator unit for modulating the first and second spectral sub-beam, an optical combining unit for combining the modulated spectral sub-beams into a measuring beam, and a measurement unit for receiving measurement signals of the object impinged upon by the measurement beam. The invention is characterized in that the light modulator unit is designed to modulate the first spectral sub-beam using a first modulation mode and the second spectral sub-beam using a second modulation mode, said first and second modulation mode being different, and the measurement unit is designed to separate first measurement signals which have been modulated using the first modulation mode and second measurement signals which have been modulated using the second modulation mode.
(FR) L'invention concerne un dispositif de mesure à résolution spectrale d'un objet, comprenant une source de lumière servant à générer un faisceau de sortie à large bande, une unité de décomposition optique servant à décomposer spectralement le faisceau de sortie en au moins un premier et un second faisceau partiel spectral, une unité de modulation de lumière servant à moduler les première et seconde parties spectrales d'un faisceau optique et une unité de fusion servant à fusionner les faisceaux partiels spectraux modulés pour obtenir un faisceau de mesure, et une unité de mesure servant à recevoir des signaux de mesure de l'objet soumis au faisceau de mesure. L'invention est caractérisée en ce que l'unité de modulation de lumière est adaptée pour moduler le premier faisceau partiel spectral avec un premier mode de modulation et le second faisceau partiel spectral avec un second mode de modulation, les premier et second modes de modulation étant différents et l'unité de mesure étant adaptée pour séparer des premiers signaux de mesure, qui sont modulées avec le premier mode de modulation, et des seconds signaux de mesure qui sont modulés avec le second mode de modulation.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für eine spektral aufgelöste Vermessung eines Objekts, mit einer Lichtquelle zum Erzeugen eines breitbandigen Ausgangsstrahls, einer optischen Zerlegeeinheit zum spektralen Zerlegen des Ausgangsstrahls in mindestens einen ersten und einen zweiten Spektralteilstrahl, einer Lichtmodulatoreinheit zur Modulation des ersten und zweiten Spektralteilstrahls und einer optischen Zusammenführeinheit zum Zusammenführen der modulierten Spektralteilstrahlen zu einem Messstrahl, sowie mit einer Messeinheit zum Aufnehmen von Messsignalen des mit dem Messstrahl beaufschlagten Objekts. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtmodulatoreinheit ausgebildet ist, den ersten Spektralteilstrahl mit einer ersten Modulationsart und den zweiten Spektralteilstrahl mit einer zweiten Modulationsart zu modulieren, wobei erste und zweite Modulationsart unterschiedlich sind und dass die Messeinheit ausgebildet ist, erste Messsignale, welche mit der ersten Modulationsart moduliert sind und zweite Messsignale, welche mit der zweiten Modulationsart moduliert sind zu separieren.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)