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1. (WO2016000944) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINES DAMPFES AUS MEHREREN FLÜSSIGEN ODER FESTEN AUSGANGSSTOFFEN FÜR EINE CVD- ODER PVD-EINRICHTUNG

Pub. No.:    WO/2016/000944    International Application No.:    PCT/EP2015/063382
Publication Date: Fri Jan 08 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Wed Jun 17 01:59:59 CEST 2015
IPC: C23C 14/12
C23C 14/26
C23C 16/448
C23C 16/455
C23C 14/24
C23C 14/22
Applicants: AIXTRON SE
Inventors: LONG, Michael
Title: VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINES DAMPFES AUS MEHREREN FLÜSSIGEN ODER FESTEN AUSGANGSSTOFFEN FÜR EINE CVD- ODER PVD-EINRICHTUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Dampfes für eine CVD- oder PVD-Einrichtung, wobei ein erster Wärmeübertragungskörper (1) vorgesehen ist, der Wärmeübertragungsflächen aufweist zur Übertragung von Verdampfungswärme auf durch eine erste Zuleitung (5) in den ersten Wärmeübertragungskörper (1) eingespeiste flüssige oder feste Partikel eines ersten Ausgangsstoffs, wobei der durch Verdampfen der Partikel erzeugte Dampf von einem Trägergas in einer Strömungsrichtung des Trägergases aus dem ersten Wärmeübertragungskörper (1) in einen zweiten Wärmeübertragungskörper (2) bringbar ist, der in Strömungsrichtung des Trägergases hinter dem ersten Wärmeübertragungskörper (1) angeordnet ist, wobei der erste Wärmeübertragungskörper (1) auf eine erste Temperatur und der zweite Wärmeübertragungskörper (2) auf eine zweite Temperatur aufheizbar ist. Es ist eine zweite Zuleitung (6) vorgesehen, die unmittelbar in oder vor dem zweiten Wärmeübertragungskörper (2) mündet, durch die flüssige oder feste Partikel eines zweiten Ausgangsstoffs in den zweiten Wärmeübertragungskörper (2) einspeisbar sind, so dass auf diese Partikel Verdampfungswärme übertragbar ist und der durch Verdampfen der Partikel erzeugte zweite Dampfzusammen mit dem ersten Dampf vom Trägergas aus dem zweiten Wärmeübertragungskörper (2) heraus transportierbar ist.