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1. (WO2016000924) DIFFUSIONSPUMPE

Pub. No.:    WO/2016/000924    International Application No.:    PCT/EP2015/062987
Publication Date: Fri Jan 08 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Thu Jun 11 01:59:59 CEST 2015
IPC: F04F 9/00
F04F 9/08
F04F 9/04
Applicants: LEYBOLD GMBH
Inventors: SCHWEIZER, Hans-Werner
Title: DIFFUSIONSPUMPE
Abstract:
Diffusionspumpe, insbesondere energieeffiziente Diffusionspumpe, mit einem Gehäuse (10) und einem mit dem Gehäuse (10) verbundenen Siederaum (14). In dem Bereich des Siederaums (14) ist ein Heizelement (16) angeordnet. Weiter ist im Gehäuse (10) eine Düse (20, 22) angeordnet, welche mit dem Siederaum (14) verbunden ist. Im Bereich der Düse (20, 22) ist an einer Innenseite des Gehäuses (10) ein Kondensator (24) angeordnet, wobei im Bereich des Kondensators (24) eine Kühlung (26) zur Kühlung des Kondensators (24) vorgesehen ist. Dabei ist der Siederaum (14) thermisch vom Kondensator (24) durch einen Isolator (52) getrennt. Alternativ oder zusätzlich handelt es sich bei der Kühlung (26) des Kondensators (24) zumindest teilweise um eine Wasserkühlung. Alternativ oder zusätzlich ist die Kühlung (26) des Kondensators (24) über eine Wärmepumpe (40) mit dem Heizelement (16) verbunden, sodass Wärme vom Kondensator (24) zum Heizelement (16) gefördert wird. Alternativ oder zusätzlich ist eine Temperaturerfassung (34) vorgesehen, die die Kondensatortemperatur erfasst, wobei die Temperaturerfassung (34) mit einer Kondensatorkühlungsregelung zur Regelung der Kühlung (26) des Kondensators (24) verbunden ist. Alternativ oder zusätzlich ist mit dem Heizelement (16) eine Heizelementregelung verbunden zur Anpassung der Heizleistung des Heizelements (16) an die vorliegende Pumpsituation.