Einige Inhalte dieser Anwendung sind momentan nicht verfügbar.
Wenn diese Situation weiterhin besteht, kontaktieren Sie uns bitte unterFeedback&Kontakt
1. (WO2015197396) VAKUUMPUMPEN-SYSTEM
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2015/197396 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2015/063287
Veröffentlichungsdatum: 30.12.2015 Internationales Anmeldedatum: 15.06.2015
IPC:
F04C 23/00 (2006.01) ,F04C 25/02 (2006.01) ,F04C 28/26 (2006.01) ,F04C 18/16 (2006.01) ,F04C 18/12 (2006.01) ,F04C 28/02 (2006.01)
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen [insbesondere Pumpen] für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
C
Rotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen [Kraft- und Arbeitsmaschinen] für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
23
Kombinationen mehrerer Rotationskolbenpumpen oder Schwenkkolbenpumpen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe; Pumpenanlagen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe; mehrstufige Pumpen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen [insbesondere Pumpen] für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
C
Rotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen [Kraft- und Arbeitsmaschinen] für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
25
Ausbildung von Pumpen für Gase oder Dämpfe für besondere Zwecke
02
Hochvakuumpumpen
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen [insbesondere Pumpen] für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
C
Rotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen [Kraft- und Arbeitsmaschinen] für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
28
Steuern, Regeln oder Überwachen von oder Sicherheitsmaßnahmen für Pumpen oder Pumpenanlagen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
24
gekennzeichnet durch Regelventile, die den Druck oder den Durchsatz regeln, z.B. Auslassventile
26
unter Verwendung von Bypass-Leitungen
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen [insbesondere Pumpen] für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
C
Rotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen [Kraft- und Arbeitsmaschinen] für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
18
Rotationskolbenpumpen besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
08
mit Kämmeingriff, d.h. die Eingriffskörper stehen in ähnlichem Eingriff wie bei Zahnradgetrieben
12
Nicht-innenachsige Maschinen
14
mit verzahnten Rotationskolben
16
schrauben- oder schrägverzahnt [schneckenförmig], z.B. pfeilverzahnt
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen [insbesondere Pumpen] für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
C
Rotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen [Kraft- und Arbeitsmaschinen] für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
18
Rotationskolbenpumpen besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
08
mit Kämmeingriff, d.h. die Eingriffskörper stehen in ähnlichem Eingriff wie bei Zahnradgetrieben
12
Nicht-innenachsige Maschinen
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen [insbesondere Pumpen] für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
C
Rotationskolben- oder Schwenkkolbenmaschinen [Kraft- und Arbeitsmaschinen] für Flüssigkeiten; Rotationskolben- oder Schwenkkolbenarbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
28
Steuern, Regeln oder Überwachen von oder Sicherheitsmaßnahmen für Pumpen oder Pumpenanlagen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe
02
besonders ausgebildet für mehrere in Reihe oder parallel geschaltete Pumpen
Anmelder:
LEYBOLD GMBH [DE/DE]; Bonner Straße 498 50968 Köln, DE
Erfinder:
DREIFERT, Thomas; DE
MÜLLER, Roland; DE
PELIKAN, Max; DE
SCHILLER, Dirk; DE
SCHNEIDENBACH, Daniel; DE
STRATMANN, Dirk; DE
Vertreter:
DOMPATENT VON KREISLER SELTING WERNER –PARTNERSCHAFT VON PATENTANWÄLTEN UND RECHTSANWÄLTEN MBB; Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln, DE
Prioritätsdaten:
20 2014 005 279.426.06.2014DE
Titel (EN) VACUUM PUMP SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE POMPES À VIDE
(DE) VAKUUMPUMPEN-SYSTEM
Zusammenfassung:
(EN) A vacuum pump system for evacuating a chamber, in particular a lock chamber or process chamber, comprises a main vacuum pump (12) preferably designed as a screw pump. An inlet (30) of the main vacuum pump (12) is connected to the chamber that is to be evacuated. An auxiliary vacuum pump (24), especially a Roots pump, is disposed in the pumping direction of the main vacuum pump (12). An outlet zone (32) of the main vacuum pump (12) is connected to a main outlet (34) and to an inlet (38) of the auxiliary vacuum pump. Furthermore, an outlet (40) of the auxiliary vacuum pump is connected to the main outlet (34).
(FR) L'invention concerne un système de pompes à vide servant à faire le vide dans une chambre, en particulier une chambre de sas ou une chambre de processus. Ledit système de pompes à vide comporte une pompe à vide principale (12) réalisée de préférence sous la forme d'une pompe à vis. Une entrée (30) de la pompe à vis principale (12) est reliée à la chambre dans laquelle le vide doit être fait. Une pompe à vide auxiliaire (24) est disposée dans la direction de refoulement de la pompe à vide principale (12), laquelle est en particulier une pompe de type Roots. Une zone de sortie (32) de la pompe à vide principale (12) est reliée d'une part à une sortie principale (34) et d'autre part à une entrée (38) de la pompe à vide principale. En outre, une sortie (40) de la pompe à vide auxiliaire est reliée à la sortie principale (34).
(DE) Ein Vakuumpumpen-System zur Evakuierung einer Kammer, insbesondere einer Schleusen-oder Prozesskammer weist eine, vorzugsweise als Schraubenpumpe ausgebildete Hauptvakuumpumpe (12) auf. Ein Einlass (30) der Hauptvakuumpumpe (12) ist mit der zu evakuierenden Kammer verbunden. In Förderrichtung der Hauptvakuumpumpe (12) ist eine Hilfsvakuumpumpe (24) angeordnet, bei der es sich insbesondere um eine Roots-Pumpehandelt. Ein Auslassbereich (32) der Hauptvakuumpumpe (12) ist einerseits mit einem Hauptauslass (34) und andererseits mit einem Einlass (38) der Hilfsvakuumpumpe verbunden. Ferner ist ein Auslass (40) der Hilfsvakuumpumpe mit dem Hauptauslass (34) verbunden.
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)