WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO2015197396) VAKUUMPUMPEN-SYSTEM
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2015/197396    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2015/063287
Veröffentlichungsdatum: 30.12.2015 Internationales Anmeldedatum: 15.06.2015
IPC:
F04C 23/00 (2006.01), F04C 25/02 (2006.01), F04C 28/26 (2006.01), F04C 18/16 (2006.01), F04C 18/12 (2006.01), F04C 28/02 (2006.01)
Anmelder: LEYBOLD GMBH [DE/DE]; Bonner Straße 498 50968 Köln (DE)
Erfinder: DREIFERT, Thomas; (DE).
MÜLLER, Roland; (DE).
PELIKAN, Max; (DE).
SCHILLER, Dirk; (DE).
SCHNEIDENBACH, Daniel; (DE).
STRATMANN, Dirk; (DE)
Vertreter: DOMPATENT VON KREISLER SELTING WERNER –PARTNERSCHAFT VON PATENTANWÄLTEN UND RECHTSANWÄLTEN MBB; Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln (DE)
Prioritätsdaten:
20 2014 005 279.4 26.06.2014 DE
Titel (DE) VAKUUMPUMPEN-SYSTEM
(EN) VACUUM PUMP SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE POMPES À VIDE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Ein Vakuumpumpen-System zur Evakuierung einer Kammer, insbesondere einer Schleusen-oder Prozesskammer weist eine, vorzugsweise als Schraubenpumpe ausgebildete Hauptvakuumpumpe (12) auf. Ein Einlass (30) der Hauptvakuumpumpe (12) ist mit der zu evakuierenden Kammer verbunden. In Förderrichtung der Hauptvakuumpumpe (12) ist eine Hilfsvakuumpumpe (24) angeordnet, bei der es sich insbesondere um eine Roots-Pumpehandelt. Ein Auslassbereich (32) der Hauptvakuumpumpe (12) ist einerseits mit einem Hauptauslass (34) und andererseits mit einem Einlass (38) der Hilfsvakuumpumpe verbunden. Ferner ist ein Auslass (40) der Hilfsvakuumpumpe mit dem Hauptauslass (34) verbunden.
(EN)A vacuum pump system for evacuating a chamber, in particular a lock chamber or process chamber, comprises a main vacuum pump (12) preferably designed as a screw pump. An inlet (30) of the main vacuum pump (12) is connected to the chamber that is to be evacuated. An auxiliary vacuum pump (24), especially a Roots pump, is disposed in the pumping direction of the main vacuum pump (12). An outlet zone (32) of the main vacuum pump (12) is connected to a main outlet (34) and to an inlet (38) of the auxiliary vacuum pump. Furthermore, an outlet (40) of the auxiliary vacuum pump is connected to the main outlet (34).
(FR)L'invention concerne un système de pompes à vide servant à faire le vide dans une chambre, en particulier une chambre de sas ou une chambre de processus. Ledit système de pompes à vide comporte une pompe à vide principale (12) réalisée de préférence sous la forme d'une pompe à vis. Une entrée (30) de la pompe à vis principale (12) est reliée à la chambre dans laquelle le vide doit être fait. Une pompe à vide auxiliaire (24) est disposée dans la direction de refoulement de la pompe à vide principale (12), laquelle est en particulier une pompe de type Roots. Une zone de sortie (32) de la pompe à vide principale (12) est reliée d'une part à une sortie principale (34) et d'autre part à une entrée (38) de la pompe à vide principale. En outre, une sortie (40) de la pompe à vide auxiliaire est reliée à la sortie principale (34).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)