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1. (WO2015197344) KAPAZITIVER DIFFERENZDRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2015/197344    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2015/062679
Veröffentlichungsdatum: 30.12.2015 Internationales Anmeldedatum: 08.06.2015
IPC:
G01L 9/00 (2006.01), G01L 13/02 (2006.01)
Anmelder: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG [DE/DE]; Hauptstr. 1 79689 Maulburg (DE)
Erfinder: TEIPEN, Rafael; (DE).
LEMKE, Benjamin; (DE)
Vertreter: ANDRES, Angelika; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2014 108 748.8 23.06.2014 DE
Titel (DE) KAPAZITIVER DIFFERENZDRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
(EN) CAPACITIVE DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
(FR) CAPTEUR DE PRESSION DIFFÉRENTIELLE CAPACITIF ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Zusammenfassung: front page image
(DE)Es ist ein einfach aufgebauter und kostengünstig herstellbarer Differenzdrucksensor beschrieben, mit einer ersten und einer zweiten Gegenelektrode (1, 3), einer zwischen den beiden Gegenelektroden (1, 3) angeordneten leitfähigen Scheibe (5), einer ersten isolierenden Schicht (7), über die ein äußerer Rand der Scheibe (5) unter Bildung einer ersten Druckkammer (9) mit einem äußeren Rand der ersten Gegenelektrode (1 ) verbunden ist, einer zweiten isolierenden Schicht (11), über die ein äußerer Rand der Scheibe (5) unter Bildung einer zweiten Druckkammer (9) mit einem äußeren Rand der zweiten Gegenelektrode (3) verbunden ist, einer in der ersten Gegenelektrode (1) vorgesehenen Ausnehmung (13), über die erste Druckkammer (9) mit einem ersten Druck (p1) beaufschlagbar ist, und einer in der zweiten Gegenelektrode (3) vorgesehenen Ausnehmung (13), über die die zweite Druckkammer (9) mit einem zweiten Druck (p2) beaufschlagbar ist, der sich dadurch auszeichnet, dass die Scheibe (5) durch einen Graben (17) in einen als Elektrode dienenden inneren Bereich (19) und einen davon durch den Graben (17) elektrisch isolierten äußeren Bereich (21) unterteilt ist, der innere Bereich (19) eine zwischen den beiden Druckkammern (9) angeordnete Messmembran (15) und einen die Messmembran (15) umschließenden, zwischen den inneren Rändern (25) der isolierenden Schichten (7, 11) eingespannten Randbereich (23) umfasst, und der innere Bereich (19) mit jeder der Gegenelektroden (1, 3) jeweils einen Kondensator mit einer von einem auf die Messmembran (15) einwirkenden Differenzdruck (Δρ) abhängigen Kapazität (C1, C3) bildet.
(EN)A differential pressure sensor which is of simple design and can be produced cost-effectively is described, comprising a first and a second counterelectrode (1, 3), a conductive plate (5) arranged between the two counterelectrodes (1, 3), a first insulating layer (7), via which an outer edge of the plate (5) is connected to an outer edge of the first counterelectrode (1) to form a first pressure chamber (9), a second insulating layer (11), via which an outer edge of the plate (5) is connected to an outer edge of the second counterelectrode (3) to form a second pressure chamber (9), a cutout (13) which is provided in the first counterelectrode (1) and via which a first pressure (p1) can be applied to the first pressure chamber (9), and a cutout (13) which is provided in the second counterelectrode (3) and via which a second pressure (p2) can be applied to the second pressure chamber (9), which sensor is distinguished by the fact that the plate (5) is subdivided by a trench (17) into an inner region (19) serving as electrode and an outer region (21) electrically insulated therefrom by the trench (17), the inner region (19) comprises a measuring membrane (15) arranged between the two pressure chambers (9) and an edge region (23) enclosing the measuring membrane (15) and clamped in between the inner edges (25) of the insulating layers (7, 11), and the inner region (19) forms with each of the counterelectrodes (1, 3) in each case a capacitor having a capacitance (C1, C3) dependent on a differential pressure (Δρ) acting on the measuring membrane (15).
(FR)L'invention concerne un capteur de pression différentielle de construction simple et de fabrication économique, comprenant des première et seconde contre-électrodes (1, 3), une plaque conductrice (5) disposée entre les deux contre-électrodes (1, 3), une première couche isolante (7) reliant un bord extérieur de la plaque (5) à un bord extérieur de la première contre-électrode (1) en formant une première chambre de pression (9), une seconde couche isolante (11) reliant un bord extérieur de la plaque (5) à un bord extérieur de la seconde contre-électrode (3) en formant une seconde chambre de pression (9), un évidement (13) qui est ménagé dans la premier contre-électrode (1) et qui permet de mettre la première chambre de pression (9) à une première pression (p1), et un évidement (13) qui est ménagé dans la seconde contre-électrode (3) et qui permet de mettre la seconde chambre de pression (9) à une seconde pression (p2). L'invention est caractérisée en ce que la plaque (5) est divisée par une tranchée (17) en une région intérieure (19) servant d'électrode et une région extérieure (21) isolée électriquement de la région intérieure par la tranchée (17), en ce que la région intérieure (19) comporte une membrane de mesure (15) disposée entre les deux chambres de pression (9) et une zone de bordure (23) enfermant la membrane de mesure (15) et encastrée entre les bords intérieurs (25) des couches isolantes (7, 11), et en ce que la zone intérieure (19) forme avec chacune des contre-électrodes (1, 3) un condensateur qui a une capacité à charge (C1, C3) en fonction de la différence de pression (Δρ) agissant sur la membrane de mesure (15).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)