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1. (WO2015140155) TRANSPORTVORRICHTUNG ZUM BEWEGEN UND/ODER POSITIONIEREN VON OBJEKTEN

Pub. No.:    WO/2015/140155    International Application No.:    PCT/EP2015/055533
Publication Date: Fri Sep 25 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Mar 18 00:59:59 CET 2015
IPC: H01L 21/677
Applicants: MECATRONIX AG
Inventors: EHMANN, Christian Wolfgang
KLESEN, Christof
AENIS, Martin
Title: TRANSPORTVORRICHTUNG ZUM BEWEGEN UND/ODER POSITIONIEREN VON OBJEKTEN
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Transportvorrichtung zum Bewegen und/oder Positionieren von Objekten, mit: - einer sich entlang einer Transportrichtung (z) erstreckenden Basis (12), an welcher mehrere in Transportrichtung (z) voneinander beabstandete aktiv geregelte Magnetlager (24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29) angeordnet sind, - einem an der Basis (12) mittels zumindest einiger Magnetlager (24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29) berührungslos gelagerten und mittels zumindest eines Antriebs (18) in Transportrichtung (z) relativ zur Basis (12) beweglichen Träger (30), an welchem zumindest ein Objekt (80) anordenbar ist, - zumindest einer Erfassungseinrichtung (40, 42, 44, 46, 48) zur Ermittlung einer Position des Trägers (30) in Transportrichtung (z) relativ zu den Magnetlagern (24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29) und - eine mit der Erfassungseinrichtung (40, 42, 44, 46, 48, 49) gekoppelten Steuerung (50, 51 ) zur selektiven Ansteuerung zumindest eines mit dem Träger (30) in magnetischen Wirkverbindung stehenden oder innerhalb eines vorgegebenen Zeitintervalls mit dem Träger (30) in Wirkverbindung tretenden Magnetlagers (24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29) in Abhängigkeit der ermittelten Position des Trägers (30).