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1. (WO2015140042) EVAKUIERBARE FLEXIBLE LECKAGEPRÜFKAMMER

Pub. No.:    WO/2015/140042    International Application No.:    PCT/EP2015/055181
Publication Date: Fri Sep 25 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Fri Mar 13 00:59:59 CET 2015
IPC: G01M 3/32
Applicants: INFICON GMBH
Inventors: VAN TRIEST, Hendrik
DECKER, Silvio
Title: EVAKUIERBARE FLEXIBLE LECKAGEPRÜFKAMMER
Abstract:
Eine evakuierbare flexible Prüfkammer (10) zur Leckprüfung eines Prüflings, mit einer ein Prüfkammervolumen (36) umgebenden Wand (12), ist dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Bereich der Wand aus zwei Lagen (18, 20) Wandmaterial gebildet ist, von denen zumindest die dem Prüfkammervolumen (36) zugewandte Lage (20) aus einem flexiblen Material gebildet ist, und dass zwischen den beiden Lagen ( 18, 20) gegenüber der die Prüfkammer (10) umgebenden Atmosphäre ein Überdruck herstellbar ist.