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1. (WO2015140028) REAKTOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GRANULAREM POLYSILICIUM
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2015/140028 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2015/055143
Veröffentlichungsdatum: 24.09.2015 Internationales Anmeldedatum: 12.03.2015
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 27.11.2015
IPC:
B01J 8/18 (2006.01) ,B01J 8/42 (2006.01) ,C01B 33/03 (2006.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
01
Physikalische oder chemische Verfahren oder Vorrichtungen allgemein
J
Chemische oder physikalische Verfahren, z.B. Katalyse, Kolloidchemie; entsprechende Vorrichtungen hierfür
8
Chemische oder physikalische Verfahren allgemein, die in Gegenwart fließender Medien und fester Teilchen ausgeführt werden; Vorrichtungen für derartige Verfahren
18
mit aufgewirbelten [fluidisierten] Teilchen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
01
Physikalische oder chemische Verfahren oder Vorrichtungen allgemein
J
Chemische oder physikalische Verfahren, z.B. Katalyse, Kolloidchemie; entsprechende Vorrichtungen hierfür
8
Chemische oder physikalische Verfahren allgemein, die in Gegenwart fließender Medien und fester Teilchen ausgeführt werden; Vorrichtungen für derartige Verfahren
18
mit aufgewirbelten [fluidisierten] Teilchen
24
entsprechend der "Wirbelbett"-Technik
42
wobei das Wirbelbett der Einwirkung von elektrischem Strom oder von Strahlungen ausgesetzt ist
C Chemie; Hüttenwesen
01
Anorganische Chemie
B
Nichtmetallische Elemente; deren Verbindungen
33
Silicium; dessen Verbindungen
02
Silicium
021
Herstellung
027
durch Zersetzung oder Reduktion von gasförmigen oder dampfförmigen Siliciumverbindungen außer Siliciumdioxid oder Material, das Siliciumdioxid enthält
03
durch Zersetzung von Siliciumhalogeniden oder Halogensilanen oder deren Reduktion mit Wasserstoff als einzigem reduzierenden Mittel
Anmelder:
WACKER CHEMIE AG [DE/DE]; Hanns-Seidel-Platz 4 81737 München, DE
Erfinder:
WECKESSER, Dirk; DE
Vertreter:
KILLINGER, Andreas; DE
Prioritätsdaten:
10 2014 205 025.118.03.2014DE
Titel (EN) REACTOR AND PROCESS FOR PREPARING GRANULAR POLYSILICON
(FR) RÉACTEUR ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE POLYSILICIUM GRANULAIRE
(DE) REAKTOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GRANULAREM POLYSILICIUM
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a reactor for preparing granular polysilicon by deposition of polycrystalline silicon on silicon seed particles, comprising a reaction vessel, an inner reactor tube for a fluidized bed comprising granular polysilicon and a reactor bottom within the reactor vessel, a heating device for heating the fluidized bed in the inner reactor tube, at least one bottom gas nozzle for introduction of fluidizing gas and at least one reaction gas nozzle for introduction of reaction gas, a feed device to introduce silicon seed particles and also an offtake line for granular polysilicon and a device for discharging reactor offgas from the reactor vessel, characterized in that a cylindrical component which has openings on its cylindrical surface, with at least 5% and not more than 95% of the cylindrical surface being open, is located between inner reactor tube and heating device.
(FR) L'invention concerne un réacteur servant à la production de polysilicium granulaire par dépôt de silicium polycristallin sur des particules de germes de silicium, comprenant une cuve de réacteur, un tube de réacteur intérieur destiné à un lit fluidisé de polysilicium granulaire et une partie inférieure de réacteur à l'intérieur de la cuve de réacteur, un dispositif de chauffage servant à chauffer le lit fluidisé à l'intérieur du tube de réacteur, une ou plusieurs buses de gaz de fond servant à amener un gaz de fluidisation et une ou plusieurs buses de gaz de réaction servant à amener un gaz de réaction, un dispositif d'alimentation servant à amener des particules de germes de silicium et un conduit d'évacuation du polysilicium granulaire, et un moyen d'évacuation de gaz de sortie de réacteur de la cuve de réacteur. L'invention est caractérisée en ce qu'entre le tube de réacteur intérieur et le dispositif de chauffage est disposé un composant cylindrique qui comporte des orifices sur sa surface d'enveloppe, 5% au moins et 95% au plus de la surface d'enveloppe étant ouvertes.
(DE) Gegenstand der Erfindung ist ein Reaktor zur Herstellung von granulärem Polysilicium durch Abscheidung von polykristallinem Silicium auf Silicium-Keimpartikeln, umfassend einen Reaktorbehälter, ein Innen-Reaktorrohr für eine Wirbelschicht mit granulärem Polysilicium und einen Reaktorboden innerhalb des Reaktorbehälters, eine Heizvorrichtung zum Heizen der Wirbelschicht im Innen-Reaktorrohr, wenigstens eine Bodengasdüse zur Zuführung von Fluidisierungsgas sowie wenigstens eine Reaktionsgasdüse zur Zuführung von Reaktionsgas, eine Zuführeinrichtung, um Silicium-Keimpartikel zuzuführen sowie eine Entnahmeleitung für granuläres Polysilicium und eine Einrichtung zum Abführen von Reaktorabgas aus dem Reaktorbehälter, dadurch gekennzeichnet, dass sich zwischen Innen-Reaktorrohr und Heizvorrichtung ein zylinderförmiges Bauteil befindet, das auf seiner Mantelfläche Öffnungen aufweist, wobei wenigstens 5% und höchstens 95% der Mantelfläche offen sind.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)