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1. WO2015135966 - OPTISCHES BAUELEMENT

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Veröffentlichungsnummer WO/2015/135966
Veröffentlichungsdatum 17.09.2015
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2015/055017
Internationales Anmeldedatum 11.03.2015
IPC
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
G03F 7/20 (2006.01)
CPC
G02B 26/0833
G02B 27/0068
G02B 5/0891
G02B 5/09
G03F 7/70091
G03F 7/70116
Anmelder
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder
  • PATRA, Michael; DE
  • DEGÜNTHER, Markus; DE
  • BÜTTNER, Paul; DE
  • HEINTEL, Willi; DE
  • BAITINGER, Henner; DE
Vertreter
  • RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg, DE
Prioritätsdaten
10 2014 204 818.414.03.2014DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) OPTISCHES BAUELEMENT
(EN) OPTICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT OPTIQUE
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Zusammenfassung
(DE)
Ein optisches Bauelement (23) für eine Projektionsbelichtungsanlage umfasst eine Vielzahl von variabel positionierbaren strahlführenden Elementen (24), welche als Pupillenfacetten dienen. Das optische Bauelement (23) kann im Strahlengang der Projektionsoptik angeordnet sein.
(EN)
An optical component (23) for a projection lighting system comprises a plurality of variably positionable beam-guiding elements (24) acting as pupil facets. The optical component (23) can be placed in the beam path of the projection optical device.
(FR)
L'invention concerne un composant optique (23) pour une installation d'éclairage par projection. Ledit composant optique comprend une pluralité d'éléments (24) conduisant des rayons, à position variable. Les éléments font office de facettes de pupilles. Le composant optique (23) peut être disposé dans la trajectoire des rayons de l'optique de projection.
Auch veröffentlicht als
DE102014204818
JP2017509922
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten
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