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1. (WO2015135966) OPTISCHES BAUELEMENT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2015/135966 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2015/055017
Veröffentlichungsdatum: 17.09.2015 Internationales Anmeldedatum: 11.03.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
Anmelder:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
PATRA, Michael; DE
DEGÜNTHER, Markus; DE
BÜTTNER, Paul; DE
HEINTEL, Willi; DE
BAITINGER, Henner; DE
Vertreter:
RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg, DE
Prioritätsdaten:
10 2014 204 818.414.03.2014DE
Titel (EN) OPTICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT OPTIQUE
(DE) OPTISCHES BAUELEMENT
Zusammenfassung:
(EN) An optical component (23) for a projection lighting system comprises a plurality of variably positionable beam-guiding elements (24) acting as pupil facets. The optical component (23) can be placed in the beam path of the projection optical device.
(FR) L'invention concerne un composant optique (23) pour une installation d'éclairage par projection. Ledit composant optique comprend une pluralité d'éléments (24) conduisant des rayons, à position variable. Les éléments font office de facettes de pupilles. Le composant optique (23) peut être disposé dans la trajectoire des rayons de l'optique de projection.
(DE) Ein optisches Bauelement (23) für eine Projektionsbelichtungsanlage umfasst eine Vielzahl von variabel positionierbaren strahlführenden Elementen (24), welche als Pupillenfacetten dienen. Das optische Bauelement (23) kann im Strahlengang der Projektionsoptik angeordnet sein.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)