Einige Inhalte dieser Anwendung sind momentan nicht verfügbar.
Wenn diese Situation weiterhin besteht, kontaktieren Sie uns bitte unterFeedback&Kontakt
1. (WO2015135798) PROZESSKAMMERABDECK-ANORDNUNG UND PROZESSKAMMER-ANORDNUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2015/135798 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2015/054411
Veröffentlichungsdatum: 17.09.2015 Internationales Anmeldedatum: 03.03.2015
IPC:
H01J 61/90 (2006.01) ,H01J 61/54 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
61
Gas- oder Dampfentladungslampen
84
Lampen mit durch Hochdruck eingeschnürter Entladung
90
für intermittierenden Betrieb geeignete Lampen, z.B. Blitzlampen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
61
Gas- oder Dampfentladungslampen
02
Einzelheiten
54
Zündanordnungen, z.B. Unterstützung der Ionisation zum Einleiten der Zündung
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
Anmelder:
VON ARDENNE GMBH [DE/DE]; Plattleite 19/29 01324 Dresden, DE
Erfinder:
LEUPOLD, Jan; DE
GROSS, Harald; DE
HAASEMANN, Georg; DE
HEISIG, Andreas; DE
ZSCHIESCHANG, Erwin; DE
MIRRING, Enno; DE
ZIMMERMANN, Lars; DE
WILLKOMMEN, Udo; DE
Vertreter:
VIERING, JENTSCHURA & PARTNER; Am Brauhaus 8 01099 Dresden, DE
Prioritätsdaten:
10 2014 103 298.512.03.2014DE
10 2014 110 678.429.07.2014DE
Titel (EN) PROCESS CHAMBER COVER ARRANGEMENT AND PROCESS CHAMBER ARRANGEMENT
(FR) ENSEMBLE DE RECOUVREMENT DE CHAMBRE DE TRAITEMENT ET ENSEMBLE DE CHAMBRE DE TRAITEMENT
(DE) PROZESSKAMMERABDECK-ANORDNUNG UND PROZESSKAMMER-ANORDNUNG
Zusammenfassung:
(EN) According to various embodiments of the invention, a process chamber cover arrangement (100) may comprise: a process chamber cover (102) for covering an opening (200g) of a process chamber (200p); and a flash lamp arrangement having at least one flash lamp (106), the flash lamp arrangement being fastened to the process chamber cover (102) on the process chamber side (102i) thereof.
(FR) L'invention concerne un ensemble de recouvrement de chambre de traitement (100), selon divers modes de réalisation, qui comprend : un couvercle de chambre de traitement (102) servant à recouvrir une ouverture (200g) d'une chambre de traitement (200p) ; et un ensemble de lampes flash comportant au moins une lampe flash (106), l'ensemble de lampes flash étant fixé au couvercle de la chambre de traitement (102) sur sont côté tourné vers la chambre de traitement (102i).
(DE) Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammerabdeck-Anordnung (100) Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerabdeckung (102) zum Abdecken einer Öffnung (200g) einer Prozesskammer (200p); undeine Blitzlampenanordnung mit mindestens einer Blitzlampe(106), wobei die Blitzlampenanordnung an der Prozesskammerabdeckung (102) an ihrer Prozesskammerseite (102i) befestigt ist.
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)