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1. (WO2015135717) BAW-RESONATOR MIT TEMPERATURKOMPENSATION

Pub. No.:    WO/2015/135717    International Application No.:    PCT/EP2015/052965
Publication Date: Fri Sep 18 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Fri Feb 13 00:59:59 CET 2015
IPC: H03H 9/17
H03H 9/02
Applicants: EPCOS AG
Inventors: MARKSTEINER, Stephan
Title: BAW-RESONATOR MIT TEMPERATURKOMPENSATION
Abstract:
Es wird ein temperaturkompensierter BAW-Resonator (RES) vorgeschlagen, der über einem Substrat (SU) und einem akustischen Spiegel (AS) aufgebaut ist. Zwischen dem akustischen Spiegel und der untersten Elektrodenschicht (E1) ist eine Kompensationsschicht (KS) vorgesehen, die ein Material mit positiven Temperaturkoeffizienten der viskoelastischen Eigenschaften aufweist. Eine Verminderung der piezoelektrischen Kopplung durch diese Kompensationsschicht wird mit einer Gesamtschichtdicke von Kompensationsschicht und oberster Niederimpedanzschicht (LI) des akustischen Spiegels, minimiert, die ein ungerades Vielfaches von λ/4, mindestens aber 3/4 λ beträgt, wobei λ die Wellenlänge der akustischen Welle ist.