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1. (WO2015135648) JUSTIERBARER DEFORMIERBARER SPIEGEL ZUM AUSGLEICH VON ABERRATIONEN EINES STRAHLENBÜNDELS

Pub. No.:    WO/2015/135648    International Application No.:    PCT/EP2015/000535
Publication Date: Fri Sep 18 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Mar 11 00:59:59 CET 2015
IPC: G02B 26/08
G02B 27/00
Applicants: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH
Inventors: ERBE, Torsten
WERSCHNIK, Jan
Title: JUSTIERBARER DEFORMIERBARER SPIEGEL ZUM AUSGLEICH VON ABERRATIONEN EINES STRAHLENBÜNDELS
Abstract:
Die Erfindung betrifft einen justierbaren deformierbaren Spiegel (1) zum Ausgleich von Aberrationen eines Strahlenbündels mit einem Spiegelelement zur Reflexion einfallender Strahlen des Strahlenbündels, einem Grundkörper zur Halterung des Spiegelelements und mindestens einem Stellelement (4) zur Einleitung von Kräften (F) in das Spiegelelement, wobei das Spiegelelement ein Planelement (2) mit einer Dicke (d) von mindestens 1 mm ist und das Stellelement (4) ein Hebelgetriebe mit Hebelelementen (5) ist. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zum Ausgleich von Aberrationen eines Strahlenbündels (12.1, 12.2) sowie eine optische Anordnung mit einem erfindungsgemäßen Spiegel (1).