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1. (WO2015131877) KAPAZITÄTSDIODE, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER KAPAZITÄTSDIODE, SOWIE SPEICHER UND DETEKTOR MIT EINER SOLCHEN KAPAZITÄTSDIODE

Pub. No.:    WO/2015/131877    International Application No.:    PCT/DE2015/100029
Publication Date: Sat Sep 12 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Tue Jan 27 00:59:59 CET 2015
IPC: H01L 29/861
H01G 7/02
H01L 29/51
H01L 29/66
H01L 29/93
H01L 49/02
Applicants: HELMHOLTZ-ZENTRUM DRESDEN - ROSSENDORF E. V.
Inventors: SCHMIDT, Heidemarie
SKORUPA, Ilona
PRUCNAL, Slawomir
BÜRGER, Danilo
BOGUSZ, Agnieska
SELVARAJ, Laveen
Title: KAPAZITÄTSDIODE, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER KAPAZITÄTSDIODE, SOWIE SPEICHER UND DETEKTOR MIT EINER SOLCHEN KAPAZITÄTSDIODE
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Kapazitätsdiode, ein Verfahren zum Herstellen derselben, sowie einen Speicher und Detektor mit einer solchen Kapazitätsdiode, wobei die Kapazitätsdiode eine erste und eine zweite Elektrode sowie eine kontaktierend zwischen den beiden Elektroden angeordnete Schichtanordnung aufweist, und wobei die Schichtanordnung in Richtung von der ersten zu der zweiten Elektrode hin nacheinander eine Schicht aus einem ferroelektrischen Material und eine elektrisch isolierende Schicht aus einem dielektrischen Material mit elektrisch geladenen Störstellen aufweist.