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1. (WO2015128288) BÜNDELVERTEILUNGSOPTIK, BELEUCHTUNGSOPTIK MIT EINER DERARTIGEN BÜNDELVERTEILUNGSOPTIK, OPTISCHES SYSTEM MIT EINER DERARTIGEN BELEUCHTUNGSOPTIK SOWIE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT EINEM DERARTIGEN OPTISCHEN SYSTEM

Pub. No.:    WO/2015/128288    International Application No.:    PCT/EP2015/053727
Publication Date: Fri Sep 04 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Tue Feb 24 00:59:59 CET 2015
IPC: G02B 26/08
G03F 7/20
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventors: DEGÜNTHER, Markus
PATRA, Michael
KORB, Thomas
Title: BÜNDELVERTEILUNGSOPTIK, BELEUCHTUNGSOPTIK MIT EINER DERARTIGEN BÜNDELVERTEILUNGSOPTIK, OPTISCHES SYSTEM MIT EINER DERARTIGEN BELEUCHTUNGSOPTIK SOWIE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT EINEM DERARTIGEN OPTISCHEN SYSTEM
Abstract:
Eine Bündelverteilungsoptik (8) dient zum Aufteilen eines einfallenden Bündels von Beleuchtungslicht (7) in mindestens zwei ausfallende Beleuchtungslicht-Bündel (71, 78). Die Bündelverteilungsoptik (8) hat mindestens ein Blaze-Reflexionsgitter (9) mit reflektierenden Gitterstrukturen. Es resultiert eine Optik, bei der eine effiziente Erzeugung mehrerer Beleuchtungslicht-Bündel aus einem einfallenden Bündel von Beleuchtungslicht erfolgt.