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1. (WO2015128288) BÜNDELVERTEILUNGSOPTIK, BELEUCHTUNGSOPTIK MIT EINER DERARTIGEN BÜNDELVERTEILUNGSOPTIK, OPTISCHES SYSTEM MIT EINER DERARTIGEN BELEUCHTUNGSOPTIK SOWIE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT EINEM DERARTIGEN OPTISCHEN SYSTEM
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Veröff.-Nr.: WO/2015/128288 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2015/053727
Veröffentlichungsdatum: 03.09.2015 Internationales Anmeldedatum: 23.02.2015
IPC:
G02B 26/08 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
26
Optische Vorrichtungen oder Anordnungen mit beweglichen oder verformbaren optischen Elementen zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder Richtung von Licht, z.B. Schalten, Austasten, Modulieren
08
zum Steuern der Richtung von Licht
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
Anmelder:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
DEGÜNTHER, Markus; DE
PATRA, Michael; DE
KORB, Thomas; DE
Vertreter:
RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg, DE
Prioritätsdaten:
10 2014 203 348.925.02.2014DE
Titel (EN) BEAM DISTRIBUTING OPTICAL DEVICE, ILLUMINATING OPTICAL UNIT COMPRISING A BEAM DISTRIBUTING OPTICAL DEVICE OF SAID TYPE, OPTICAL SYSTEM COMPRISING AN ILLUMINATING OPTICAL UNIT OF SAID TYPE, AND PROJECTION LIGHTING APPARATUS COMPRISING AN OPTICAL SYSTEM OF SAID TYPE
(FR) OPTIQUE DE RÉPARTITION DE FAISCEAUX, OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE POURVUE D'UNE OPTIQUE DE RÉPARTITION DE FAISCEAUX DE CE TYPE, SYSTÈME OPTIQUE COMPRENANT UNE OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE DE CE TYPE ET INSTALLATION D'ÉCLAIRAGE PAR PROJECTION COMPRENANT UN SYSTÈME OPTIQUE DE CE TYPE
(DE) BÜNDELVERTEILUNGSOPTIK, BELEUCHTUNGSOPTIK MIT EINER DERARTIGEN BÜNDELVERTEILUNGSOPTIK, OPTISCHES SYSTEM MIT EINER DERARTIGEN BELEUCHTUNGSOPTIK SOWIE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT EINEM DERARTIGEN OPTISCHEN SYSTEM
Zusammenfassung:
(EN) A beam distributing optical device (8) is used for splitting an incident beam of illumination light (7) into at least two output illumination light beams (71, 78). The beam distributing optical device (8) includes at least one blazed reflection grating (9) that has reflective grating structures. The obtained optical device makes it possible to efficiently generate a plurality of illumination light beams from an incident beam of illumination light.
(FR) L'invention concerne une optique de répartition de faisceaux (8) servant à séparer un faisceau incident de lumière d'éclairage (7) en au moins deux faisceaux émergents de lumière d'éclairage (71, 78). L'optique de répartition de faisceaux (8) comprend au moins un réseau de réflexion blazé (9) pourvu de structures de réseau de réflexion. Il en ressort une optique, pour laquelle plusieurs faisceaux de lumière d'éclairage sont produits de manière efficace à partir d'un faisceau incident de lumière d'éclairage.
(DE) Eine Bündelverteilungsoptik (8) dient zum Aufteilen eines einfallenden Bündels von Beleuchtungslicht (7) in mindestens zwei ausfallende Beleuchtungslicht-Bündel (71, 78). Die Bündelverteilungsoptik (8) hat mindestens ein Blaze-Reflexionsgitter (9) mit reflektierenden Gitterstrukturen. Es resultiert eine Optik, bei der eine effiziente Erzeugung mehrerer Beleuchtungslicht-Bündel aus einem einfallenden Bündel von Beleuchtungslicht erfolgt.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)