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1. (WO2015128279) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KONZENTRATION EINES DAMPFES MITTELS EINES SCHWINGKÖRPERSENSORS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2015/128279 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2015/053703
Veröffentlichungsdatum: 03.09.2015 Internationales Anmeldedatum: 23.02.2015
IPC:
G01N 29/02 (2006.01) ,G01N 29/036 (2006.01) ,G01N 29/32 (2006.01) ,G01N 30/76 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
29
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen mittels Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen; Sichtbarmachen des Inneren von Gegenständen durch Übertragen von Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen durch den Gegenstand
02
Analysieren von Flüssigkeiten oder Gasen [Fluids]
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
29
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen mittels Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen; Sichtbarmachen des Inneren von Gegenständen durch Übertragen von Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen durch den Gegenstand
02
Analysieren von Flüssigkeiten oder Gasen [Fluids]
036
durch Messung der Frequenz oder Resonanz akustischer Wellen
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
29
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen mittels Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen; Sichtbarmachen des Inneren von Gegenständen durch Übertragen von Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen durch den Gegenstand
22
Einzelheiten
32
Anordnungen zur Unterdrückung unerwünschter Einflüsse, z.B. Temperatur- oder Druckschwankungen
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
30
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Trennen in Bestandteile durch Adsorption, Absorption oder ähnliche Phänomene oder durch Ionenaustausch, z.B. Chromatografie
02
Säulenchromatografie
62
Speziell angepasste Detektoren
76
Akustische Detektoren
Anmelder:
AIXTRON SE [DE/DE]; Dornkaulstraße 2 52134 Herzogenrath, DE
Erfinder:
BECCARD, Birgit Irmgard; DE
CREMER, Claudia; DE
TRIMBORN, Karl-Heinz; DE
LONG, Michael; DE
EICHLER, Andy; DE
AL AHMAD, Nael; DE
Vertreter:
GRUNDMANN, Dirk; DE
Prioritätsdaten:
10 2014 102 484.226.02.2014DE
Titel (EN) DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING THE CONCENTRATION OF A VAPOR BY MEANS OF AN OSCILLATING BODY SENSOR
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR LA DÉTERMINATION DE LA CONCENTRATION EN UNE VAPEUR AU MOYEN D'UN CAPTEUR À CORPS OSCILLANT
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KONZENTRATION EINES DAMPFES MITTELS EINES SCHWINGKÖRPERSENSORS
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a device and to a method for determining the concentration of a vapor in a volume (2), in particular for determining or controlling the mass flow of the vapor being conveyed through the volume (2) by a carrier gas, wherein the volume (2) can be heated by means of a heating unit (8) to a temperature above the condensation temperature of the vapor, comprising a sensor (1), which supplies a sensor signal that is dependent on the concentration or partial pressure of the vapor. In order to provide a sensor for determining the vapor concentration using such a device or such a method, in particular a method for separating OLED layers, the sensor signal of which is not influenced, or at most slightly influenced, by the carrier gas, the sensor (1) according to the invention has an oscillatory body that can be brought to oscillation, the oscillation frequency of which is influenced by a mass accumulation formed on a surface of the oscillating body by the condensed vapor. The oscillating body has a temperature control unit, by means of which the oscillating body can be brought to a temperature below the condensation temperature of the vapor, wherein an evaluation unit determines the concentration or the partial pressure from the temporal change of the oscillator frequency.
(FR) L'invention concerne un dispositif et un procédé pour la détermination de la concentration en une vapeur dans un volume (2), en particulier pour la détermination ou la régulation d'un débit massique de la vapeur transportée par un gaz support à travers le volume (2). Le volume (2) peut être chauffé à l'aide d'un dispositif de chauffage (8) à une température supérieure à la température de condensation de la vapeur. Le dispositif comprend un capteur (1), qui délivre un signal de capteur dépendant de la concentration et/ou de la pression partielle de la vapeur. L'invention vise à proposer un capteur servant à la détermination de la concentration en vapeur dont le signal de capteur n'est pas influencé ou seulement faiblement influencé par le gaz support dans un tel dispositif ou un tel procédé, en particulier un procédé pour le dépôt de couches OLED. A cet effet, le capteur (1) comporte un corps oscillant pouvant être mis en oscillation, dont la fréquence d'oscillation est influencée par une accumulation de masse formée sur une surface du corps oscillant par la vapeur condensée. Le corps oscillant comporte un système d'étuvage, grâce auquel il peut être amené à une température inférieure à la température de condensation. Un dispositif d'évaluation détermine la concentration et/ou la pression partielle à partir de la modification de la fréquence d'oscillation dans le temps.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Konzentration eines Dampfes in einem Volumen (2), insbesondere zur Bestimmung oder Regelung des Massenflusses des von einem Trägergas durch das Volumen (2) geförderten Dampfes, wobei das Volumen (2) mit einer Heizeinrichtung (8) auf eine Temperatur oberhalb der Kondensationstemperatur des Dampfes aufheizbar ist, mit einem Sensor (1), der ein von der Konzentration beziehungsweise Partialdruck des Dampfes abhängiges Sensorsignal liefert. Um bei einer solchen Vorrichtung oder einem solchen Verfahren, insbesondere einem Verfahren zum Abscheiden von OLED-Schichten einen Sensor zur Bestimmung der Dampfkonzentration anzugeben, dessen Sensorsignal vom Trägergas nicht oder allenfalls geringfügig beeinflusst wird, wird vorgeschlagen, dass der Sensor (1) einen in eine Oszillation bringbaren Schwingkörper aufweist, dessen Oszillationsfrequenz von einer auf einer Oberfläche des Schwingkörpers vom kondensierten Dampf gebildeten Massenanhäufung beeinflusst wird, wobei der Schwingkörper eine Temperiereinrichtung aufweist, mit der er auf eine Temperatur unterhalb der Kondensations temperatur des Dampfes bringbar ist, wobei eine Auswerteeinrichtung die Konzentration beziehungsweise den Partialdruck aus der zeitlichen Änderung der Oszillatorfrequenz ermittelt.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)