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1. (WO2015128063) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BAUTEILS UND BAUTEIL

Pub. No.:    WO/2015/128063    International Application No.:    PCT/EP2015/000304
Publication Date: Fri Sep 04 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Thu Feb 12 00:59:59 CET 2015
IPC: B81C 1/00
Applicants: NORTHROP GRUMMAN LITEF GMBH
Inventors: GEIGER, Wolfram
Title: VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BAUTEILS UND BAUTEIL
Abstract:
Bei dem Verfahren zur Herstellung eines Bauteils wird zunächst ein erster Schichtverbund erzeugt, der ein erstes Substrat aus einem leitfähigen Material und mindestens einen in diesem ausgebildeten und mit isolierendem Material gefüllten Graben umfasst, wobei ein erster Bereiche des ersten Substrates von anderen Bereichen des ersten Substrates durch den Graben lateral zumindest an einer ersten Oberfläche des ersten Substrates elektrisch isoliert ist. Nachfolgend wird ein zweiter Schichtverbund erzeugt, der den ersten Schichtverbund und eine Strukturschicht umfasst. Die Strukturschicht umfasst eine aktive Struktur des Bauteils und ist mindestens in einem ersten Bereich, der in dem ersten Bereich des ersten Substrates an die erste Oberfläche des ersten Substrates angrenzt und mit diesem elektrisch leitend verbunden ist, elektrisch leitfähig. Auf einer zweiten Oberfläche des ersten Substrates, die der ersten Oberfläche des ersten Substrates gegenüber liegt, wird nachfolgende eine erste Kontaktfläche in dem ersten Bereich des ersten Substrates erzeugt, wobei der erste Bereich des ersten Substrates durch den Graben an der zweiten Oberfläche des ersten Substrates lateral von anderen Bereichen des ersten Substrates elektrisch isoliert ist. Mit Hilfe des Verfahrens wird ein Bauteil realisiert, bei dem ein elektrischer Kontakt zum ersten Bereich einer Strukturschicht mit Hilfe des ersten Bereiches des ersten Substrates und der ersten Kontaktfläche möglich ist.