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1. (WO2015117991) SCHUTZSCHICHT FÜR PECVD-BOOTE AUS GRAPHIT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2015/117991    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2015/052255
Veröffentlichungsdatum: 13.08.2015 Internationales Anmeldedatum: 04.02.2015
IPC:
C23C 16/458 (2006.01), H01L 21/673 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Anmelder: KGT GRAPHIT TECHNOLOGIE GMBH [DE/DE]; Im Nassen 3 53578 Windhagen (DE)
Erfinder: KORNMEYER, Torsten; (DE)
Vertreter: HUDLER, Frank; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2014 101 497.9 06.02.2014 DE
Titel (DE) SCHUTZSCHICHT FÜR PECVD-BOOTE AUS GRAPHIT
(EN) PROTECTIVE LAYER FOR PECVD GRAPHITE BOATS
(FR) COUCHE PROTECTRICE POUR NACELLES PECVD EN GRAPHITE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine verbesserte Schutzschicht für PECVD-Boote aus Graphit zur Aufnahme von Wafern und zum Transport derselben in oder durch PECVD-Beschichtungsanlagen, insbesondere in der Photovoltaikindustrie. Durch die Erfindung soll eine Schutzschicht für PECVD-Boote geschaffen werden, mit der die Herstellung einer besseren und homogeneren Antireflexschicht auf Siliziumsubstraten ermöglicht wird. Erreicht wird das dadurch, dass das aus Graphit bestehende PECVD-Boot mit einer elektrisch leitfähigen Hartstoff-Beschichtung aus Titannitrid und/oder aus Titancarbid und/oder aus Borcarbid (B4C) besteht.
(EN)The invention relates to an improved protective layer for PECVD graphite boats for receiving wafers and for transporting the same in or through PECVD coating systems, in particular in the photovoltaics industry. The invention is intended to provide a protective layer for PECVD boats which makes it possible to produce a better and more homogeneous antireflection layer on silicon substrates. This is achieved by virtue of the fact that the PECVD boat consisting of graphite is provided with an electrically conductive hard material coating consisting of titanium nitride and/or of titanium carbide and/or of boron carbide (B4C).
(FR)L'invention concerne une couche protectrice améliorée pour nacelles PECVD en graphite destinées à recevoir des plaquettes et à transporter ces dernières à l'intérieur ou à travers des installations de PECVD, notamment dans l'industrie photovoltaïque. L'objectif de l'invention est de mettre au point une couche protectrice pour des nacelles PECVD permettant la production d'une couche antireflet améliorée et plus homogène sur des substrats de silicium. Cet objectif est atteint par le fait que la nacelle PECVD en graphite est pourvue d'un revêtement électroconducteur en matériau dur constitué de nitrure de titane et/ou de carbure de titane et/ou de carbure de bore (B4C).
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)