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1. (WO2015113591) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM LÖSEN EINES ERSTEN SUBSTRATS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2015/113591    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2014/051611
Veröffentlichungsdatum: 06.08.2015 Internationales Anmeldedatum: 28.01.2014
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    26.03.2015    
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Anmelder: EV GROUP E. THALLNER GMBH [AT/AT]; DI Erich Thallner Straße 1 4782 St. Florian am Inn (AT)
Erfinder: FEHKÜHRER, Andreas; (AT)
Vertreter: BECKER & MÜLLER PATENTANWÄLTE; Johannes Schweiger 22, Turmstraße 40878 Ratingen (DE).
BECKER & MÜLLER PATENTANWÄLTE; Schneider, Sascha Turmstraße 22 40878 Ratingen (DE)
Prioritätsdaten:
Titel (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM LÖSEN EINES ERSTEN SUBSTRATS
(EN) DEVICE AND METHOD FOR REMOVING A FIRST SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTACHEMENT D'UN PREMIER SUBSTRAT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Lösen eines ersten Substrats (8) von einem zweiten Substrat (6) in einer Löserichtung (L) mit: - mindestens zwei quer zur Löserichtung (L) und in einer Radialrichtung (R) zum ersten Substrat (8) geführte Klemmelemente (1, 1', 1'', 1'") zur Klemmung des ersten Substrats (8) quer zur Löserichtung (L), - einer Substrathalterung (11, 11 ') zur Halterung des zweiten Substrats (6) und - Lösemittel zum Lösen des ersten Substrats (8) vom zweiten Substrat (6) durch Bewegung des durch die Klemmelemente (1, 1', 1'', 1'") fixierten ersten Substrats (8) in der Löserichtung (L) und/oder durch Bewegung der Substrathalterung (11, 11') entgegen der Löserichtung (L). Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung ein korrespondierendes Verfahren.
(EN)The invention relates to a device for removing a first substrate (8) from a second substrate (6) in a removal direction (L), comprising: - at least two clamping elements (1, 1', 1'', 1'"), which are guided transversely to the removal direction (L) and in a radial direction (R) towards the first substrate (8), for clamping the first substrate (8) transversely to the removal direction (L), - a substrate mounting (11, 11') for supporting the second substrate (6), and - removal means for removing the first substrate (8) from the second substrate (6) by moving the first substrate (8), which is fixed by the clamping elements (1, 1', 1'', 1'"), in the removal direction (L) and/or by moving the substrate mounting (11, 11') opposite the removal direction (L). The invention further relates to a corresponding method.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de détachement d'un premier substrat (8) d'un second substrat (6) dans un sens de détachement (L), comprenant : - au moins deux éléments de serrage (1, 1', 1'', 1''') guidés transversalement au sens de détachement (L) et dans une direction radiale (R) par rapport aux premier substrat (8) et servant à serrer le premier substrat (8) transversalement au sens de détachement (L), - un support de substrat (11, 11') servant à maintenir le second substrat (6) et - des moyens de détachement servant à détacher le premier substrat (8) du second substrat (6) par déplacement du premier substrat (8), fixé par les éléments de serrage (1, 1', 1'', 1'''), dans le sens de détachement (L) et/ou par déplacement du support de substrat (11, 11') dans le sens opposé au sens de détachement (L). En outre, la présente invention concerne un procédé correspondant.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)