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1. (WO2015036228) KOLLEKTOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2015/036228    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2014/067963
Veröffentlichungsdatum: 19.03.2015 Internationales Anmeldedatum: 25.08.2014
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G02B 19/00 (2006.01), G21K 1/06 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Erfinder: DEGÜNTHER, Markus; (DE)
Vertreter: RAU, SCHNECK & HÜBNERPATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Prioritätsdaten:
10 2013 218 132.9 11.09.2013 DE
Titel (DE) KOLLEKTOR
(EN) COLLECTOR
(FR) COLLECTEUR
Zusammenfassung: front page image
(DE)Ein Kollektor (15) dient zur Überführung von EUV-Beleuchtungslicht aus einem Strahlungsquellenbereich hin zu einer Beleuchtungsoptik. Eine Abbildungsoptik (26) des Kollektors bildet den Strahlungsquellenbereich (3) in einen nachgelagerten Fokusbereich ab. Die Abbildungsoptik (26) ist so ausgeführt, dass mit dem EUV-Beleuchtungslicht (14), das mit Strahlwinkeln < 20° zwischen dem Strahlungsquellenbereich (3) und dem nachgelagerten Fokusbereich emittiert wird, die Strahlungsquelle (3) mit mindestens einem ersten Abbildungsmaßstab abgebildet wird, und dass mit dem mit Strahlwinkeln > 70° emittierten Beleuchtungslicht (14) die Strahlungsquelle (3) mit mindestens einem zweiten Abbildungsmaßstab abgebildet wird. Die beiden Abbildungsmaßstäbe für die Strahlwinkel < 20° einerseits und > 70° andererseits unterscheiden sich um nicht mehr als einen Faktor 2,5. Ein Beleuchtungssystem beinhaltet neben einem entsprechenden Kollektor eine Feldfacetten-Übertragungsoptik. Die jeweils wiederum den Strahlwinkeln zugeordneten Produkte aus einem ersten Kollektor-Abbildungsmaßstab und einem ersten Facetten-Abbildungsmaßstab einerseits und einem zweitem Kollektor- Abbildungsmaßstab und einem zweiten Facetten-Abbildungsmaßstab andererseits unterscheiden sich um nicht mehr als einen Faktor 2,5. Es resultiert ein Kollektor, mit dem eine effiziente Überführung des EUV-Beleuchtungslichts in ein Beleuchtungs- beziehungsweise Objektfeld gewährleistet ist.
(EN)The invention relates to a collector (15) which serves to transmit EUV light from a radiation source region to an illumination lens. A focusing lens (26) of the collector focuses the radiation source region (3) in a downstream focus region. The focusing lens (26) is designed such that the radiation source (3) is focused by the EUV light (14), which is emitted at beam angles of < 20° between the radiation source region (3) and the downstream focus region, having at least one first magnification, and that the radiation source (3) is focused by the light (14), emitted at beam angles of > 70°, having at least one second magnification. The two magnifications for the beam angle < 20°, on the one hand, and > 70°, on the other hand, differ by no more than a factor of 2.5. A lighting system according to the invention has, in addition to a corresponding collector, a field facet transmission lens. The products allocated to the beam angles from a first collector magnification and a first facet magnification, on the one hand, and a second collector magnification and a second facet magnification, on the other hand, differ by nor more than a factor of 2.5. The result is a collector by means of which an efficient transmission of EUV light into a lighting or object field is guaranteed.
(FR)L'invention concerne un collecteur (15) servant à transmettre de la lumière d'éclairage EUV d'une zone source de rayonnement à une optique d'éclairage. Une optique de reproduction (26) du collecteur forme une image de la zone source de rayonnement (3) dans une zone de foyer en aval. L'optique de reproduction (26) est configurée de telle façon que, avec la lumière d'éclairage EUV (14), émise selon des angles de faisceaux < 20° entre la zone source de rayonnement (3) et la zone de foyer en aval, la source de rayonnement (3) est reproduite à au moins une première échelle de reproduction et, avec la lumière d'éclairage (14) émise selon des angles de faisceaux > 70°, la source de rayonnement (3) est reproduite à au moins une deuxième échelle de reproduction. Les deux échelles de reproduction pour les angles de faisceaux < 20° d'une part et > 70° d'autre part diffèrent au maximum d'un facteur 2, 5. Outre un collecteur correspondant, un système d'éclairage contient une optique de transmission à facettes de champ. Les produits respectivement associés aux angles de faisceaux d'une première échelle de reproduction du collecteur et d'une première échelle de reproduction des facettes d'une part et d'une deuxième échelle de reproduction du collecteur et d'une deuxième échelle de reproduction des facettes d'autre part diffèrent au maximum d'un facteur 2,5. Ceci donne un collecteur qui garantit une transmission efficiente de la lumière d'éclairage EUV dans un champ éclairage respectivement un champ d'objet.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)