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1. (WO2015036024) STRAHLFÜHRUNGSEINRICHTUNG UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG MIT EINER ÜBERLAGERUNGSEINRICHTUNG

Pub. No.:    WO/2015/036024    International Application No.:    PCT/EP2013/068939
Publication Date: 19.03.2015 International Filing Date: 12.09.2013
IPC: H05G 2/00
Applicants: TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING GMBH
Inventors: ENZMANN, Andreas
Title: STRAHLFÜHRUNGSEINRICHTUNG UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG MIT EINER ÜBERLAGERUNGSEINRICHTUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Strahlführungseinrichtung (6), umfassend: eine Vakuum-Kammer (12), in der zur Erzeugung von EUV-Strahlung ein Target-Material (8) in einem Zielbereich (7) einbringbar ist, wobei die Vakuum-Kammer (12) eine erste Öffnung (13) zum Eintritt eines ersten Laserstrahls (3) sowie einen zweite Öffnung (14) zum Eintritt eines zweiten Laserstrahls (5) aufweist, wobei der erste Laserstrahl (3) und der zweite Laserstrahl (5) unterschiedliche Wellenlängen (λ1, λ2) aufweisen, sowie eine Überlagerungseinrichtung (18) zur Überlagerung der beiden durch die erste und die zweite Öffnung (13, 14) in die Vakuum-Kammer (12) eintretenden Laserstrahlen (3, 5) zur gemeinsamen Strahlführung in Richtung auf den Zielbereich (7). Bevorzugt ist ein die erste Öffnung (13) der Vakuum-Kammer (12) gasdicht abschließendes, den ersten Laserstrahl (3) transmittierendes optisches Element (22) oder ein die zweite Öffnung (14) der Vakuum-Kammer (12) gasdicht abschließendes, den zweiten Laserstrahl (5) transmittierendes optisches Element (19) als Überlagerungseinrichtung (18) ausgebildet. Die Erfindung betrifft auch eine EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung (1) mit einer derartigen Strahlführungseinrichtung (6).