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1. WO2015000651 - KONTROLLVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ÜBERWACHEN EINER FUNKTION EINES HALBLEITERBAUELEMENTS WÄHREND DESSEN BETRIEB SOWIE ELEKTRISCHE BAUGRUPPE MIT EINER KONTROLLVORRICHTUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2015/000651
Veröffentlichungsdatum 08.01.2015
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2014/061413
Internationales Anmeldedatum 03.06.2014
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 30.10.2014
IPC
H01L 21/67 2006.01
HElektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
H02H 5/04 2006.01
HElektrotechnik
02Erzeugung, Umwandlung oder Verteilung von elektrischer Energie
HSchutzschaltungsanordnungen
5Schutzschaltungsanordnungen zum selbsttätigen Abschalten im Not- oder Störungsfall, die unmittelbar auf ein unerwünschtes Abweichen von normalen nichtelektrischen Betriebsbedingungen mit oder ohne darauf folgendes Wiedereinschalten ansprechen
04auf anormale Temperatur ansprechend
CPC
G01J 5/0007
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
0003for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter
0007of wafers or semiconductor substrates, e.g. using Rapid Thermal Processing
H01L 21/67248
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
67248Temperature monitoring
H01L 23/34
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
23Details of semiconductor or other solid state devices
34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; ; Temperature sensing arrangements
H02K 11/25
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
11Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
20for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
25Devices for sensing temperature, or actuated thereby
H02K 11/33
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
11Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
30Structural association with control circuits or drive circuits
33Drive circuits, e.g. power electronics
Anmelder
  • ZF FRIEDRICHSHAFEN AG [DE]/[DE]
Erfinder
  • WEIßMANN, Heinz
  • DÖMEL, Bernhard
Prioritätsdaten
10 2013 212 925.403.07.2013DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) KONTROLLVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ÜBERWACHEN EINER FUNKTION EINES HALBLEITERBAUELEMENTS WÄHREND DESSEN BETRIEB SOWIE ELEKTRISCHE BAUGRUPPE MIT EINER KONTROLLVORRICHTUNG
(EN) CONTROL DEVICE AND METHOD FOR MONITORING A FUNCTION OF A SEMICONDUCTOR COMPONENT DURING THE OPERATION THEREOF AND ELECTRICAL ASSEMBLY HAVING A CONTROL DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CONTRÔLE ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE SURVEILLER UNE FONCTION D'UN COMPOSANT SEMI-CONDUCTEUR PENDANT LE FONCTIONNEMENT DE CE DERNIER, ET MODULE ÉLECTRIQUE POURVU D'UN DISPOSITIF DE CONTRÔLE
Zusammenfassung
(DE)
Eine Kontrollvorrichtung (2) zum Überwachen einer Funktion eines Halbleiterbauelements (18a, b) während dessen Betriebs umfasst eine Eingangsschnittstelle (4), die ausgebildet ist, um ein Sensorsignal (12) zu empfangen, das zu einer berührungslos bestimmten Temperaturverteilung auf einer Oberfläche des Halbleiterbauelements (18a, b) korrespondiert und eine Auswerteeinrichtung (6), die ausgebildet ist, um basierend auf dem Sensorsignal (12) zu bestimmen, ob die Temperaturverteilung ein vorbestimmtes Entscheidungskriterium erfüllt, welches zu einem Betrieb des Halbleiterbauelements (18a, b) außerhalb eines normalen Betriebszustandes korrespondiert. Eine Ausgangsschnittstelle (8) ist ausgebildet, um ein Notfallsignal (10) auszugeben, wenn das Entscheidungskriterium erfüllt ist, wobei das Notfallsignal (10) das Durchführen einer Notfallmaßnahme bewirkt.
(EN)
A control device (2) for monitoring a function of a semiconductor component (18a, b) during the operation thereof comprises an input interface (4), which is configured to receive a sensor signal (12) that corresponds to a contactlessly determined temperature distribution on a surface of the semiconductor component (18a, b), and also comprises an evaluation device (6), which is configured to determine based on the sensor signal (12) whether the temperature distribution meets a predefined decision criterion that corresponds to an operation of the semiconductor component (18a, b) outside a normal operating state. An output interface (8) is configured to output an emergency signal (10) if the decision criterion is met, wherein the emergency signal (10) causes an emergency measure to be carried out.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de contrôle (2) permettant de surveiller une fonction d'un composant à semi-conducteur (18a, b) pendant le fonctionnement de ce dernier. Ce dispositif comprend une interface d'entrée (4), laquelle est réalisée pour recevoir un signal de capteur (12) correspondant à une distribution des températures déterminée sans contact sur une surface du composant à semi-conducteur (18a, b), et un dispositif d'évaluation (6), lequel est réalisé pour déterminer, sur la base du signal de capteur (12), si la distribution des températures satisfait un critère de décision prédéfini, lequel correspond à un fonctionnement du composant à semi-conducteur (18a, b) situé à l'extérieur d'un état de fonctionnement normal. Une interface de sortie (8) est réalisée pour émettre un signal d'urgence (10) lorsque le critère de décision est satisfait, le signal d'urgence (10) provoquant la mise en œuvre d'une mesure d'urgence.
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