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1. (WO2014184292) SYSTEM ZUM HERSTELLEN VON STRUKTUREN IN EINEM SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2014/184292    International Application No.:    PCT/EP2014/059944
Publication Date: Fri Nov 21 00:59:59 CET 2014 International Filing Date: Fri May 16 01:59:59 CEST 2014
IPC: G03F 1/00
G03F 1/70
G03F 7/20
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventors: PATRA, Michael
Title: SYSTEM ZUM HERSTELLEN VON STRUKTUREN IN EINEM SUBSTRAT
Abstract:
Es wird ein System zum Herstellen von Strukturen in einem Wafer mittels einer Projektionsbelichtungsanlage und einer Lithographiemaske vorgeschlagen, mit dem hochfrequente Beiträge zu einem CD-Fehler im Wesentlichen vollständig entfernt werden können, indem regelbasierte Maskenanpassungen durchgeführt werden. Die erfindungsgemäss vorgeschlagenen Regeln der Korrektur können vorteilhaft ohne grossen Zusatzaufwand durchgeführt werden.