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1. WO2014135448 - METHOD FOR ILLUMINATING AN IMAGE FIELD

Veröffentlichungsnummer WO/2014/135448
Veröffentlichungsdatum 12.09.2014
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2014/053917
Internationales Anmeldedatum 28.02.2014
IPC
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
26
Optische Vorrichtungen oder Anordnungen mit beweglichen oder verformbaren optischen Elementen zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder Richtung von Licht, z.B. Schalten, Austasten, Modulieren
08
zum Steuern der Richtung von Licht
G03F 7/20 (2006.01)
G02B 26/08 (2006.01)
CPC
G02B 26/0833
G03F 7/70075
G03F 7/70116
G03F 7/70516
Anmelder
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder
  • PATRA, Michael; DE
Vertreter
  • RAU, SCHNECK & HÜBNER Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg, DE
Prioritätsdaten
10 2013 203 689.205.03.2013DE
61/772,57205.03.2013US
Veröffentlichungssprache Englisch (EN)
Anmeldesprache Englisch (EN)
Designierte Staaten
Titel
(EN) METHOD FOR ILLUMINATING AN IMAGE FIELD
(FR) PROCÉDÉ DESTINÉ À ÉCLAIRER UN CHAMP D'IMAGE
Zusammenfassung
(EN)
The invention relates to an illumination optical system (6) for transmitting illumination radiation (7) from a radiation source (5) to an object field (3), comprising at least one mirror unit (20) with a multiplicity of individual mirrors (21) which can be displaced between different displacement positions in a controlled manner and a control device (23) for controlling the displacement of the individual mirrors (21), wherein the control device (23) is configured in such a way that predetermined exclusion positions of the individual mirrors (21) can be excluded from the displacement positions that can be set.
(FR)
L'invention concerne un système optique d'éclairage (6) pour transmettre un rayonnement d'éclairage (7) depuis une source de rayonnement (5) vers un champ d'objet (3), comprenant au moins une unité de miroir (20) comportant une multiplicité de miroirs individuels (21) qui peut être déplacée entre différentes positions de déplacement d'une manière contrôlée et un dispositif de commande (23) pour commander le déplacement des miroirs individuels (21), le dispositif de commande (23) étant conçu de sorte que des positions d'exclusion prédéterminées des miroirs individuels (21) peuvent être exclues des positions de déplacement qui peuvent être réglées.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten