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1. WO2014122027 - VORRICHTUNG ZUR UNTERSEITIGEN SUBSTRATNASSBEHANDLUNG

Veröffentlichungsnummer WO/2014/122027
Veröffentlichungsdatum 14.08.2014
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2014/051319
Internationales Anmeldedatum 23.01.2014
IPC
B05C 1/02 2006.1
BSektion B Arbeitsverfahren; Transportieren
05Versprühen oder Zerstäuben allgemein; Aufbringen von fließfähigen Stoffen auf Oberflächen allgemein
CVorrichtungen zum Aufbringen von fließfähigen Stoffen auf Oberflächen allgemein
1Vorrichtungen, bei denen Flüssigkeit oder anderer fließfähiger Stoff auf die Oberfläche von Werkstücken durch Berührung mit einem die Flüssigkeit oder den anderen fließfähigen Stoff tragenden Körper aufgebracht wird, z.B. mit einem durch die als Überzug aufzubringende Flüssigkeit getränkten porösen Körper
02zum Aufbringen von Flüssigkeit oder anderem fließfähigem Stoff auf einzelne Gegenstände
CPC
B05C 1/025
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
1Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
02for applying liquid or other fluent material to separate articles
025to flat rectangular articles, e.g. flat sheets
B05C 1/0821
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
1Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
04for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
08using a roller ; or other rotating member which contacts the work along a generating line
0821characterised by driving means for rollers or work
B05C 13/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
13Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
02for particular articles
H01L 21/67057
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67017Apparatus for fluid treatment
67028for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
6704for wet cleaning or washing
67057with the semiconductor substrates being dipped in baths or vessels
H01L 21/6776
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67739into and out of processing chamber
6776Continuous loading and unloading into and out of a processing chamber, e.g. transporting belts within processing chambers
H05K 3/06
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
3Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
02in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
06the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
Anmelder
  • GEBR. SCHMID GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • MÜCK, Philip
  • NIETHAMMER, Michael
  • WEISSER, Kai
Vertreter
  • PATENTANWÄLTE RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER & PARTNER
Prioritätsdaten
10 2013 202 138.008.02.2013DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG ZUR UNTERSEITIGEN SUBSTRATNASSBEHANDLUNG
(EN) DEVICE FOR WET-TREATING THE LOWER FACE OF SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR VOIE HUMIDE DE LA FACE INFÉRIEURE DE SUBSTRATS
Zusammenfassung
(DE) Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Nassbehandlung flacher Substrate (S1, S2) durch unterseitige Fluidbenetzung, wobei die Vorrichtung wenigstens eine Benetzungsstation (B A, BB) mit wenigstens einer Benetzungswalze (W A, W B) zur unterseitigen Fluidbenetzung der zu behandelnden, in einer Transportrichtung (TR) über die Behandlungswalze bewegten Substrate sowie ein Rollentransportsystem beinhaltet, das mehrere, in der Transportrichtung beabstandet hintereinander angeordnete Transportrollen (T1 bis T7, W A, W B) einschließlich der wenigstens einen Benetzungswalze aufweist. Erfindungsgemäß ist die Benetzungswalze mit einem Höhenniveau (Hm) angeordnet, das um einen vorgegebenen Höhenversatz (AH A) höher liegt als ein Höhenniveau (Hu), das von einem zufuhrseitig an die Benetzungswalze angrenzenden Abschnitt des Rollentransportsystems definiert ist.
(EN) The invention relates to a device for wet-treating flat substrates (S1, S2) by wetting the lower face with a fluid. The device includes at least one wetting station (B A, BB) with at least one wetting roller (W A, W B) for wetting the lower face of the substrate to be treated using a fluid, said substrate being moved over the treatment roller in a transport direction (TR). The device also includes a roller transport system that has multiple transport rollers (T1 to T7, W A, W B) which are arranged one behind the other in a spaced manner in the transport direction and which include the at least one wetting roller. According to the invention, the wetting roller is arranged at a height level (Hm) which lies higher than a height level (Hu) defined by a roller transport system portion adjoining the wetting roller on the feed side by a specified height offset (AH A).
(FR) L'invention concerne un dispositif de traitement par voie humide de substrats plats (S1, S2) par mouillage de leur face inférieure au moyen d'un fluide. Le dispositif comprend au moins un poste de mouillage (BA, BB), équipé d'au moins un rouleau mouilleur (WA, WB) servant à mouiller avec un fluide la face inférieure du substrat à traiter qui se déplace dans un sens de transport (TR) sur les rouleaux de traitement, ainsi qu'un système de convoyeur à rouleaux équipé de plusieurs rouleaux transporteurs (T1 à T7), disposés les uns à la suite des autres et espacés dans le sens de transport, et incorporant le ou les rouleaux mouilleurs (WA, WB). Selon l'invention, le rouleau mouilleur est disposé à une hauteur (Hm) plus élevée d'une différence de hauteur (ΔHA) prédéfinie qu'une hauteur (Hu) définie par un segment du système de convoyeur à rouleaux adjacent au rouleau mouilleur côté chargement.
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