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1. (WO2014108499) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINES MULTILAGENELEKTRODENSYSTEMS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2014/108499 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2014/050372
Veröffentlichungsdatum: 17.07.2014 Internationales Anmeldedatum: 10.01.2014
IPC:
H01L 41/083 (2006.01) ,H01L 41/27 (2013.01) ,H01L 41/293 (2013.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
41
Piezoelektrische Bauelemente allgemein; Elektrostriktive Bauelemente allgemein; Magnetostriktive Bauelemente allgemein; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Bauelemente oder von Teilen davon; Einzelheiten dieser Bauelemente; Einzelheiten dieser Bauelemente
08
Piezoelektrische oder elektrostriktive Bauelemente
083
stapelförmig oder mehrschichtig aufgebaut
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
41
Piezoelektrische Bauelemente allgemein; Elektrostriktive Bauelemente allgemein; Magnetostriktive Bauelemente allgemein; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Bauelemente oder von Teilen davon; Einzelheiten dieser Bauelemente; Einzelheiten dieser Bauelemente
22
Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Fertigung, Herstellung oder Behandlung von piezoelektrischen oder elektrostriktiven Bauelementen oder Teilen davon
27
Herstellung mehrschichtiger piezoelektrischer oder elektrostriktiver Bauelemente oder Teile davon, z.B. durch Stapeln piezoelektrischer Körper und Elektroden
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
41
Piezoelektrische Bauelemente allgemein; Elektrostriktive Bauelemente allgemein; Magnetostriktive Bauelemente allgemein; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Bauelemente oder von Teilen davon; Einzelheiten dieser Bauelemente; Einzelheiten dieser Bauelemente
22
Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Fertigung, Herstellung oder Behandlung von piezoelektrischen oder elektrostriktiven Bauelementen oder Teilen davon
29
Bildung von Elektroden, elektrischen Leitern oder Anschlussanordnungen
293
Verbindungselektroden mit mehrschichtigen piezoelektrischen oder elektrostriktiven Teilen
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
PIRK, Tjalf; DE
KRAUSS, Andreas; DE
HEUCK, Friedjof; DE
LEIDICH, Stefan; DE
SCHELLING, Christoph; DE
Prioritätsdaten:
10 2013 200 354.414.01.2013DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINES MULTILAGENELEKTRODENSYSTEMS
(EN) METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING A MULTI-LAYER ELECTRODE SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE FABRICATION D'UN SYSTÈME D'ÉLECTRODE MULTICOUCHE
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung betrifft ein Multilagenelektrodensystem sowie ein Verfahren zum Herstellen eines Multilagenelektrodensystems (300). Das Verfahren umfasst einen Schritt des Bereitstellens eines Trägersubstrats (100) mit einer Vertiefung (104) in einer Oberseite (102) des Trägersubstrats (100), wobei zumindest eine Wand der Vertiefung (104) in Bezug auf eine der Oberseite (102) gegenüberliegende Unterseite des Trägersubstrats (100) geneigt ausgebildet ist, und einen Schritt des Aufbringens eines Multilagenstapels, der zumindest eine erste Elektrodenlage, eine zweite Elektrodenlage und eine zwischen der ersten Elektrodenlage und der zweiten Elektrodenlage angeordnete Piezoelektrikumlage aufweist, auf die Oberseite (102) des Trägersubstrats (100), wobei zumindest die Wand und ein Boden der Vertiefung (104) durch zumindest einen Abschnitt des Multilagenstapels abgedeckt werden, um das Multilagenelektrodensystem (300) zu bilden.
(EN) The invention relates to a multi-layer electrode system and a method for producing a multi-layer electrode system (300). The method comprises a step of providing a carrier substrate (100) having a recess (104) in a top side (102) of the carrier substrate (100), wherein at least one wall of the recess (104) is inclined in relation to a bottom side of the carrier substrate (100), which is opposite to the top side (102), and a step of applying a multi-layer stack, which comprises at least a first electrode layer, a second electrode layer, and a piezoelectric layer arranged between the first electrode layer and the second electrode layer, to the top side (102) of the carrier substrate (100), wherein at least the wall and a bottom of the recess (104) are covered by at least a portion of the multi-layer stack, in order to form the multi-layer electrode system (300).
(FR) L'invention concerne un système d'électrode multicouche ainsi qu'un procédé de fabrication d'un système d'électrode multicouche (300). Le procédé comprend une étape qui consiste à préparer un substrat de support (100) présentant un creux (104) sur une face supérieure (102) du substrat de support (100), au moins une paroi du creux (104) étant inclinée par rapport à une face inférieure du substrat de support (100) opposée à la face supérieure (102), et une étape qui consiste à appliquer sur la face supérieure (102) du substrat de support (100) une pile multicouche qui présente au moins une première couche d'électrode, une deuxième couche d'électrode, et une couche piézoélectrique agencée entre la première couche d'électrode et la deuxième couche d'électrode, au moins la paroi et le fond du creux (104) étant recouverts par au moins une partie de la pile multicouche pour former le système d'électrode multicouche (300).
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
EP2943988US20150340592IN6278/DELNP/2015CN104904027