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1. (WO2014108187) VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG VON FEHLERN EINES DREHPOSITIONSERMITTLUNGSSYSTEMS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2014/108187 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2013/050328
Veröffentlichungsdatum: 17.07.2014 Internationales Anmeldedatum: 09.01.2013
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 14.10.2014
IPC:
G01B 21/04 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
21
Messanordnungen oder Einzelheiten davon, soweit sie nicht für die in den anderen Gruppen dieser Unterklasse aufgeführten Messmittel besonders ausgebildet sind
02
zum Messen der Länge, der Breite oder der Dicke
04
zum Messen der Koordinaten von Punkten
Anmelder:
CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Str. 22 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
SAGEMÜLLER, Rainer; DE
SEITZ, Dominik; DE
HELD, Tobias; DE
Vertreter:
BEYER, Andreas; Bressel und Partner Potsdamer Platz 10 10785 Berlin, DE
Prioritätsdaten:
Titel (DE) VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG VON FEHLERN EINES DREHPOSITIONSERMITTLUNGSSYSTEMS
(EN) METHOD FOR DETERMINING ERRORS IN A ROTATION POSITION DETERMINATION SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DES ERREURS D'UN SYSTÈME DE DÉTERMINATION DE POSITION ANGULAIRE
Zusammenfassung:
(DE) Verfahren zur Ermittlung eines oder mehrerer Fehler eines Drehpositionsermittlungssystems, das Drehpositionen von Teilen einer Drehvorrichtung (201) misst, wobei ein erstes Teil (206) und ein zweites Teil (205) der Drehvorrichtung (201) relativ zueinander um eine Drehachse (D) der Drehvorrichtung (201) drehbar sind, und das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Ermitteln einer ersten Drehposition der Drehvorrichtung (201) mit zwei relativ zueinander drehbaren Teilen (206, 205), Ermitteln einer ersten Drehposition einer Referenzdrehvorrichtung (60) mit zwei relativ zueinander drehbaren Teilen (61, 62), wobei eines der zwei Teile ein drittes Teil (61) ist, das bezüglich der Drehachse drehfest mit dem zweiten Teil (205) der Drehvorrichtung (201) gekoppelt ist, und das andere Teil der zwei Teile ein viertes Teil (62) ist, das relativ zu dem dritten Teil (61) um eine Drehachse der Referenzdrehvorrichtung (R) drehbar ist, Variieren der Drehposition der Drehvorrichtung (201) zu einer zweiten Drehposition der Drehvorrichtung, Ermitteln der zweiten Drehposition der Drehvorrichtung mit dem Drehpositionsermittlungssystem, Variieren der Drehposition der Referenzdrehvorrichtung (60) zu einer zweiten Drehposition der Referenzdrehvorrichtung, Ermitteln von einer durch das Variieren der Drehpositionen veränderten resultierenden Drehposition des ersten Teils (206) und des vierten Teils (62) relativ zueinander, Ermitteln des Drehpositionsfehlers des Drehpositionsermittlungssystems aus der veränderten resultierenden Drehposition des ersten Teils (206) und des vierten Teils (62) relativ zueinander, und/oder alternativ oder zusätzlich zum vorhergehenden Schritt, Variieren der Drehposition der Drehvorrichtung (201) zu einer zweiten Drehposition der Drehvorrichtung und Variieren der Drehposition der Referenzdrehvorrichtung (60) zu einer zweiten Drehposition der Referenzdrehvorrichtung (60), sodass die resultierende Drehposition des ersten Teils (206) und des vierten Teils (62) nicht verändert ist, Ermitteln der zweiten Drehposition der Drehvorrichtung (201), und Ermitteln des Drehpositionsfehlers des Drehpositionsermittlungssystems aus den Drehpositionen der Drehvorrichtung (201) oder der Änderung der Drehposition der Drehvorrichtung, und aus den Drehpositionen der Referenzdrehvorrichtung (60) oder der Änderung der Drehposition der Referenzdrehvorrichtung.
(EN) Method for determining one or more errors in a rotation position determination system which measures rotation positions of parts of a rotary apparatus (201), wherein a first part (206) and a second part (205) of the rotary apparatus (201) can rotate relative to one another about a rotation axis (D) of the rotary apparatus (201), and the method comprises the following steps: determining a first rotation position of the rotary apparatus (201) with two parts (206, 205) which can rotate relative to one another, determining a first rotation position of a reference rotary apparatus (60) with two parts (61, 62) which can rotate relative to one another, wherein one of the two parts is a third part (61) which is coupled to the second part (205) of the rotary apparatus (201) in a rotationally fixed manner in relation to the rotation axis, and the other part of the two parts is a fourth part (62) which can rotate relative to the third part (61) about a rotation axis of the reference rotary apparatus (R), varying the rotation position of the rotary apparatus (201) in relation to a second rotation position of the rotary apparatus, determining the second rotation position of the rotary apparatus with the rotation position determination system, varying the rotation position of the reference rotary apparatus (60) in relation to a second rotation position of the reference rotary apparatus, determining a resulting rotation position of the first part (206) and of the fourth part (62) relative to one another, said rotation position being changed by virtue of the variation of the rotation positions, determining the rotation position errors of the rotation position determination position from the changed resulting rotation position of the first part (206) and of the fourth part (62) relative to one another, and/or, as an alternative or in addition to the preceding step, varying the rotation position of the rotary apparatus (201) to a second rotation position of the rotary apparatus and varying the rotation position of the reference rotary apparatus (60) to a second rotation position of the reference rotary apparatus (60), with the result that the resulting rotation position of the first part (206) and of the fourth part (62) is not changed, determining the second rotation position of the rotary apparatus (201), and determining the rotation position errors of the rotation position determination system from the rotation positions of the rotary apparatus (201) or the change in the rotation position of the rotary apparatus, and from the rotation positions of the reference rotary apparatus (60) or the change in the rotation position of the reference rotary apparatus.
(FR) L'invention concerne un procédé de détermination d'une ou de plusieurs erreurs d'un système de détermination de position angulaire qui mesure les positions angulaires de parties d'un dispositif de rotation (201), une première partie (206) et une deuxième partie (205) du dispositif de rotation (201) étant mobiles de rotation l'une par rapport à l'autre autour d'un axe de rotation (D) du dispositif de rotation (201). Ledit procédé comprend les étapes suivantes : la détermination d'une première position angulaire du dispositif de rotation (201) avec deux parties mobiles en rotation l'une par rapport à l'autre (206, 205) ; la détermination d'une première position angulaire d'un dispositif de rotation de référence (60) comportant deux parties mobiles en rotation l'une par rapport à l'autre (61, 62), une des deux parties étant une troisième partie (61) qui est couplée solidairement en rotation par rapport à l'axe de rotation à la deuxième partie (205) du dispositif de rotation (201), et l'autre partie des deux parties étant une quatrième partie (62) qui est mobile en rotation par rapport à la troisième partie (61) autour d'un axe de rotation du dispositif de rotation de référence (R) ; la variation de la position angulaire du dispositif de rotation (201) par rapport à une deuxième position angulaire du dispositif de rotation ; la détermination de la deuxième position angulaire du dispositif de rotation avec le système de détermination de position angulaire ; la variation de la position angulaire du dispositif de rotation de référence (60) à une deuxième position angulaire du dispositif de rotation de référence ; la détermination d'une position angulaire résultante de la première partie (206) et de la quatrième partie (62) l'une par rapport à l'autre, modifiée par la variation des positions angulaires ; la détermination de l'erreur de position angulaire du système de détermination de position angulaire à partir de la position résultante modifiée de la première partie (206) et de la quatrième partie (62) l'une par rapport à l'autre ; et/ou, en variante ou en plus de l'étape précédente, la variation de la position angulaire du dispositif de rotation (201) à une deuxième position angulaire du dispositif de rotation et la variation de la position angulaire du dispositif de rotation de référence (60) à une deuxième position angulaire du dispositif de rotation de référence (60), de telle sorte que la position angulaire résultante de la première partie (206) et de la quatrième partie (62) ne soit pas changée ; la détermination de la deuxième position angulaire du dispositif de rotation (201) et la détermination de l'erreur de position angulaire du système de détermination de position angulaire à partir des positions angulaires du dispositif de rotation (201) ou de la modification de la position angulaire du dispositif de rotation et à partir des positions angulaires du dispositif de rotation de référence (60) ou de la modification de la position angulaire du dispositif de rotation de référence.
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
EP2943742US20150345940CN105026884