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1. (WO2014102086) SENSOR ZUR ERMITTLUNG EINER PROZESSGRÖßE EINES MEDIUMS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2014/102086 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2013/076827
Veröffentlichungsdatum: 03.07.2014 Internationales Anmeldedatum: 17.12.2013
IPC:
G01F 1/684 (2006.01) ,G01F 1/692 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
F
Messen des Volumens, des Durchflussvolumens, des Massendurchflusses oder des Füllstandes; volumetrische Mengenmessung
1
Messen des Volumen- oder Massendurchflusses eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes, wobei das Fluid in einem ständigen Fluss durch das Instrument fließt
68
mittels thermischer Effekte
684
Bauliche Anordnungen; Anbringung der Bauteile, z.B. in Bezug auf die Strömung des Fluids
G Physik
01
Messen; Prüfen
F
Messen des Volumens, des Durchflussvolumens, des Massendurchflusses oder des Füllstandes; volumetrische Mengenmessung
1
Messen des Volumen- oder Massendurchflusses eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes, wobei das Fluid in einem ständigen Fluss durch das Instrument fließt
68
mittels thermischer Effekte
684
Bauliche Anordnungen; Anbringung der Bauteile, z.B. in Bezug auf die Strömung des Fluids
688
mit einem Heiz-, Kühl- oder Fühlerelement bestimmter Art
69
Widerstandselemente
692
Dünnfilm-Anordnungen
Anmelder:
INNOVATIVE SENSOR TECHNOLOGY IST AG [CH/CH]; Industriestrasse 2 CH-9630 Wattwil, CH
Erfinder:
HEPP, Christoph; CH
SCHÖNSTEIN, Thomas; CH
KROGMANN, Florian; CH
Vertreter:
ANDRES, Angelika; Colmarer Str. 6 79576 Weil am Rhein, DE
Prioritätsdaten:
10 2012 112 845.621.12.2012DE
10 2013 101 403.813.02.2013DE
Titel (DE) SENSOR ZUR ERMITTLUNG EINER PROZESSGRÖßE EINES MEDIUMS
(EN) SENSOR FOR DETERMINING A PROCESS VARIABLE OF A MEDIUM
(FR) CAPTEUR DESTINÉ À DÉTERMINER UNE GRANDEUR DE PROCESSUS D'UN MILIEU
Zusammenfassung:
(DE) Sensor (1) zur Ermittlung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums (2) mindestens umfassend: - ein metallisches Substrat (3), welches zumindest in einem ersten Bereich (4) eine Aussparung (5) aufweist; und - eine erste dielektrische Schicht (6), die zumindest in dem ersten Bereich (4) auf dem metallischen Substrat (3) angeordnet ist, wobei die erste dielektrische Schicht (6) eine Membran (7) ausbildet; und - zumindest eine Heizstruktur (8), die in dem ersten Bereich (4) auf der als Membran (7) ausgebildeten ersten dielektrischen Schicht (6) angeordnet ist, wobei die Heizstruktur (8) das Medium (2) erhitzt; und - zumindest ein dem ersten Bereich zugeordnetes Temperatursensorelement (9), welches beabstandet von der Heizstruktur (8) auf der ersten dielektrischen Schicht (6) angeordnet ist und die Temperatur des an der Heizstruktur (8) erhitzten Mediums (2) erfasst; und - zumindest eine Schutzschicht (10), welche zumindest die mindestens eine Heizstruktur (8) und das mindestens eine Temperatursensorelement (9) bedeckt.
(EN) A sensor (1) for determining at least one process variable of a medium (2), said sensor at least comprising: - a metallic substrate (3) which has a recess (5) at least in a first area (4); - a first dielectric layer (6) which is arranged on the metallic substrate (3) at least in the first area (4), wherein the first dielectric layer (6) forms a membrane (7); - at least one heating structure (8) which is arranged on the first dielectric layer (6) formed as a membrane (7) in the first area (4), wherein the heating structure (8) heats the medium (2); - at least one temperature sensor element (9) assigned to the first area, which temperature sensor element is arranged so as to be spaced apart from the heating structure (8) on the first dielectric layer (6) and detects the temperature of the medium (2) heated on the heating structure (8); and - at least one protective layer (10) which covers at least the at least one heating structure (8) and the at least one temperature sensor element (9).
(FR) L'invention concerne un capteur (1) destiné à déterminer au moins une grandeur de processus d'un milieu (2). Ce capteur comprend au moins : - un substrat métallique (3), lequel comporte au moins dans une première zone (4) un évidement (5); et - une première couche diélectrique (6), laquelle est disposée au moins dans la première zone (4) sur le substrat métallique (3), la première couche diélectrique (6) formant une membrane (7); et - au moins une structure chauffante (8), laquelle est disposée dans la première zone (4) sur la première couche diélectrique (6) réalisée sous la forme d'une membrane (7), la structure chauffante (8) chauffant le milieu (2); et - au moins un élément de détection de température (9) associé à la première zone et disposé à une certaine distance de la structure chauffante (8) sur la première couche diélectrique (6) et détectant la température du milieu (2) chauffé par une structure chauffante (8); et - au moins une couche de protection (10), laquelle recouvre au moins la ou les structures chauffantes (8) et l'élément ou les éléments de détection de température (9).
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
EP2936081US20160195419