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1. (WO2014096976) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINER SCHMALBANDIGEN, KURZWELLIGEN, KOHÄRENTEN LASERSTRAHLUNG, INSBESONDERE FÜR XUV-MIKROSKOPIE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2014/096976    Internationale Anmeldenummer    PCT/IB2013/003238
Veröffentlichungsdatum: 26.06.2014 Internationales Anmeldedatum: 13.11.2013
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
Anmelder: FRIEDRICH-SCHILLER-UNIVERSITÄT JENA [DE/DE]; Fürtstengraben 1 D-07743 Jena (DE).
SPIELMANN, Christian [DE/DE]; (DE).
ZÜRICH, Michael [DE/DE]; (DE)
Erfinder: SPIELMANN, Christian; (DE).
ZÜRICH, Michael; (DE)
Vertreter: DONATH, Dirk; Patent- und Rechtsanwaltskanzlei Bock Bieber Donath Hans-Knöll-Str. 1 D-07745 Jena (DE)
Prioritätsdaten:
10 2012 022 961.5 21.11.2012 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINER SCHMALBANDIGEN, KURZWELLIGEN, KOHÄRENTEN LASERSTRAHLUNG, INSBESONDERE FÜR XUV-MIKROSKOPIE
(EN) METHOD AND DEVICE FOR GENERATING NARROWBAND, SHORT-WAVE, COHERENT LASER RADIATION, MORE PARTICULARLY FOR XUV MICROSCOPY
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR PRODUIRE UN RAYONNEMENT LASER COHÉRENT EN BANDE ÉTROITE, DE COURTE LONGUEUR D'ONDE, EN PARTICULIER POUR LA MICROSCOPIE EN XUV
Zusammenfassung: front page image
(DE)Aufgabe war es, mit möglichst geringem Aufwand eine kompakte, robuste sowie einfach aufzubauende und zu justierende XUV-Strahlungsquelle mit räumlich und zeitlich höchst kohärenter und schmalbandiger Strahlungscharakteristik zu schaffen. Erfindungsgemäß wird das Laserlicht (1) zum Zweck seiner Frequenzvervielfachung auf ein geschlossenes mit Edelgas gefülltes Röhrchen (3) fokussiert, durch welches das Laserlicht (1) einen räumlich eng begrenzten Durchgangskanal selbst erzeugt. Die aus dem Röhrchen (3) austretende frequenzvervielfachte Laserstrahlung (13') wird auf ein Pinhole (18) refokussiert, mit welchem ungeachtet der Intensität der zu erzeugenden kohärenten Laserstrahlung (28) überwiegend eine Beugung der hindurchtretenden Laserstrahlung (13') bezweckt wird.
(EN)The problem addressed was that of providing, with the lowest possible outlay, an XUV radiation source which is compact, robust and simple to construct and to adjust and has a spatially and temporally extremely coherent and narrowband radiation characteristic. According to the invention, the laser light (1), for the purpose of the frequency multiplication thereof, is focused onto a closed tube (3) filled with noble gas, through which tube the laser light (1) itself generates a spatially narrowly delimited passage channel. The frequency-multiplied laser radiation (13') emerging from the tube (3) is refocused onto a pinhole (18), with which a diffraction of the laser radiation (13') passing through is predominantly intended regardless of the intensity of the coherent laser radiation (28) to be generated.
(FR)L'objectif à l'origine de l'invention était de réaliser pour des dépenses minimales une source de rayonnement XUV compacte, robuste et simple à fabriquer et à ajuster, avec une caractéristique d'émission de cohérence maximale et en bande étroite dans l'espace et dans le temps. Selon l'invention, la lumière laser (1) est focalisée en vue d'une multiplication de sa fréquence sur un petit tube (3) fermé rempli de gaz rare, grâce auquel la lumière laser (1) produit elle-même un canal de passage étroitement limité dans l'espace. Le rayonnement laser de fréquence multipliée (13') sortant du tube (3) est refocalisé sur un sténopé (18) avec lequel, indépendamment de l'intensité du rayonnement laser cohérent (28) devant être produit, c'est surtout une diffraction du rayonnement laser traversant (13') qui est recherchée. DRAWING: FIG. 1: 14 Filtre Al 200 nm
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)