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1. (WO2014090291) POSITIONIERVORRICHTUNG, KREUZTISCH UND HUBEINHEIT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2014/090291 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2012/075169
Veröffentlichungsdatum: 19.06.2014 Internationales Anmeldedatum: 12.12.2012
IPC:
B23Q 1/25 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01) ,G01B 5/00 (2006.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
23
Werkzeugmaschinen; Metallbearbeitung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
Q
Einzelheiten, Bestandteile oder Zubehör für Werkzeugmaschinen, z.B. Anordnungen zum Kopieren oder Steuern; Werkzeugmaschinen allgemein in Bezug auf die Bauart bestimmter Einzelheiten oder Bestandteile; Kombinationen oder Aneinanderreihungen von Metallbearbeitungsmaschinen, die nicht auf ein bestimmtes Metallbearbeitungsergebnis ausgerichtet sind
1
Bauteile, die zum allgemeinen Aufbau einer Maschine gehören, besonders verhältnismäßig große, fest angeordnete Bauteile
25
Bewegliche oder einstellbare Werkstück- oder Werkzeugträger
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
68
zum Positionieren, Orientieren oder Justieren
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
5
Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung mechanischer Messmittel
Anmelder:
EITZENBERGER LUFTLAGERTECHNIK GMBH [DE/DE]; Feichtmayrstraße 17 82405 Wessobrunn, DE
Erfinder:
EITZENBERGER, Hans; DE
HARNISCH, Jan; DE
Vertreter:
SCHUMACHER & WILLSAU PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Nymphenburger Str. 42 80335 München, DE
Prioritätsdaten:
Titel (EN) POSITIONING DEVICE, X-Y TABLE, AND LIFTING UNIT
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT, TABLE À MOUVEMENTS CROISÉS ET UNITÉ DE LEVAGE
(DE) POSITIONIERVORRICHTUNG, KREUZTISCH UND HUBEINHEIT
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a positioning device (10) comprising a first structural unit (12; 14) and a second structural unit (14; 12), the second support unit (14) being mounted on the first structural unit (12) and being movable relative to the first structural unit (12) along a first coordinate and at least one other coordinate. According to the invention, the positioning device (10) includes a measuring apparatus (130) for measuring the first coordinate, said measuring apparatus (130) being provided with a measuring slide (132) which is coupled to the first structural unit (12) and the second structural unit (14) in such a way that the measuring slide (132): - remains stationary relative to the first structural unit (12) when the two structural units (12, 14) are moved relative to each other in such a way that the value of the first coordinate changes and the values of the other coordinates do not change; - moves along with the second structural unit (14) when the second structural unit (14) is moved relative to the first structural unit (12) in such a way that at least one value of the other coordinates changes and the value of the first coordinate does not change.
(FR) L'invention concerne un dispositif de positionnement (10) comportant un premier module (12, 14) et un second module (14, 12) logé contre ou sur le premier module (12) et mobile par rapport au premier module (12) selon une première coordonnée et selon au moins une autre coordonnée. Selon l'invention, le dispositif de positionnement (10) comporte un dispositif de mesure (130) pour mesurer la première coordonnée, présentant un chariot de mesure (132) accouplé au premier module (12) et au second module (14) de telle manière que le chariot de mesure (132) : - reste fixe par rapport au premier module (12) lorsque les deux modules (12, 14) sont déplacés l'un par rapport à l'autre de telle manière que la valeur des premières coordonnées varie et les valeurs des autres coordonnées ne varient pas, - se déplace avec le second module (14) lorsque le second module (14) est déplacé par rapport au premier module (12) de telle manière qu'au moins une valeur des autres coordonnées varie et la valeur de la première coordonnée ne varie pas.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung (10), mit einer ersten Baueinheit (12; 14) und einer zweiten Baueinheit (14; 12), wobei die zweite Trageinheit (14) an oder auf der ersten Baueinheit (12) gelagert und relativ zu der ersten Baueinheit (12) in einer ersten Koordinate und in mindestens einer weiteren Koordinate bewegbar ist. Es ist vorgesehen, dass die Positioniervorrichtung (10) eine Messvorrichtung (130) zum Messen der ersten Koordinate aufweist, wobei die Messvorrichtung (130) einen Messschlitten (132) aufweist, der derart an die erste Baueinheit (12) und an die zweite Baueinheit (14) gekoppelt ist, dass der Messschlitten (132): - ortsfest relativ zu der ersten Baueinheit (12) bleibt, wenn die beiden Baueinheiten (12, 14) relativ zueinander derart bewegt werden, dass sich der Wert der ersten Koordinaten ändert und sich die Werte der weiteren Koordinaten nicht ändern, - sich mit der zweiten Baueinheit (14) mitbewegt, wenn die zweite Baueinheit (14) relativ zu der ersten Baueinheit (12) derart bewegt wird, dass sich mindestens ein Wert der weiteren Koordinaten ändert und sich der Wert der ersten Koordinate nicht ändert.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)