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1. (WO2014090289) POSITIONIERVORRICHTUNG, KREUZTISCH UND HUBEINHEIT

Pub. No.:    WO/2014/090289    International Application No.:    PCT/EP2012/075156
Publication Date: Fri Jun 20 01:59:59 CEST 2014 International Filing Date: Thu Dec 13 00:59:59 CET 2012
IPC: B23Q 1/54
H01L 21/68
Applicants: EITZENBERGER LUFTLAGERTECHNIK GMBH
Inventors: EITZENBERGER, Hans
HARNISCH, Jan
Title: POSITIONIERVORRICHTUNG, KREUZTISCH UND HUBEINHEIT
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung (10), mit einer Grundeinheit (12) und einer Trageinheit (14), wobei die Trageinheit (14) an oder auf der Grundeinheit (12) gelagert und relativ zu der Grundeinheit (12) horizontal bewegbar ist und zum Tragen eines zu positionierenden Objektes eingerichtet ist. Es ist vorgesehen, dass zwischen der Grundeinheit (12) und der Trageinheit (14) eine oder mehrere Hubeinheiten (18, 20, 22) angeordnet sind, die sich jeweils von der Grundeinheit (12) bis an die Trageinheit (14) erstrecken, wobei jede der Hubeinheiten (18, 20, 22) derart steuerbar ist, dass ein der betreffenden Hubeinheit (18; 20; 22) zugeordneter vertikaler Abstand zwischen der Grundeinheit (12) und der Trageinheit (14) steuerbar ist, so dass eine Schwenkung der Trageinheit (14) um eine horizontale Achse relativ zu der Grundeinheit (12) steuerbar ist. Die Hubeinheiten (18, 20, 22) können jeweils einen ein- und ausfahrbaren Kolben (86) aufweisen. Die Erfindung betrifft ferner einen Kreuztisch mit einer solchen Positioniervorrichtung.