WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Optionen
Recherchensprache
Trunkierung
Ordnen nach:
Listenlänge
Einige Inhalte dieser Anwendung sind momentan nicht verfügbar.
Wenn diese Situation weiterhin besteht, kontaktieren Sie uns bitte unterFeedback&Kontakt
1. (WO2014090289) POSITIONIERVORRICHTUNG, KREUZTISCH UND HUBEINHEIT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2014/090289 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2012/075156
Veröffentlichungsdatum: 19.06.2014 Internationales Anmeldedatum: 12.12.2012
IPC:
B23Q 1/54 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
23
Werkzeugmaschinen; Metallbearbeitung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
Q
Einzelheiten, Bestandteile oder Zubehör für Werkzeugmaschinen, z.B. Anordnungen zum Kopieren oder Steuern; Werkzeugmaschinen allgemein in Bezug auf die Bauart bestimmter Einzelheiten oder Bestandteile; Kombinationen oder Aneinanderreihungen von Metallbearbeitungsmaschinen, die nicht auf ein bestimmtes Metallbearbeitungsergebnis ausgerichtet sind
1
Bauteile, die zum allgemeinen Aufbau einer Maschine gehören, besonders verhältnismäßig große, fest angeordnete Bauteile
25
Bewegliche oder einstellbare Werkstück- oder Werkzeugträger
44
mit besonderen Mechanismen
50
ausschließlich rotierende Paare
54
zwei rotierende Paare
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
68
zum Positionieren, Orientieren oder Justieren
Anmelder: EITZENBERGER LUFTLAGERTECHNIK GMBH[DE/DE]; Feichtmayrstraße 17 82405 Wessobrunn, DE
Erfinder: EITZENBERGER, Hans; DE
HARNISCH, Jan; DE
Vertreter: SCHUMACHER & WILLSAU PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Nymphenburger Str. 42 80335 München, DE
Prioritätsdaten:
Titel (EN) POSITIONING DEVICE, X-Y TABLE, AND LIFTING UNIT
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT, TABLE À MOUVEMENTS CROISÉS ET UNITÉ DE LEVAGE
(DE) POSITIONIERVORRICHTUNG, KREUZTISCH UND HUBEINHEIT
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a positioning device (10) comprising a base unit (12) and a support unit (14) which is mounted on the base unit (12), can be horizontally moved relative to the base unit (12), and is designed to support an object to be positioned. According to the invention, one or more lifting units (18, 20, 22), each of which extends from the base unit (12) to the support unit (14), are arranged between the base unit (12) and the support unit (14). Each of the lifting units (18, 20, 22) can be controlled in such a way that a vertical distance between the base unit (12) and the support unit (14) can be controlled, said vertical distance being associated with the respective lifting unit (18, 20, 22), and so a pivoting movement of the support unit (14) relative to the base unit (12) about a horizontal axis can be controlled. The lifting units (18, 20, 22) can each be equipped with a deployable and retractable piston (86). The invention further relates to an X-Y table comprising such a positioning device.
(FR) L'invention concerne un dispositif de positionnement (10) comprenant une unité de base (12) et une unité support (14), l'unité support (14) étant logée dans ou sur l'unité de base (12), étant mobile horizontalement par rapport à l'unité de base (12) et étant conçue pour porter un objet à positionner. Il est prévu qu'une ou plusieurs unités de levage (18, 20, 22) sont disposées entre l'unité de base (12) et l'unité support (14), chacune s'étendant de l'unité de base (12) à l'unité support (14). Chaque unité de levage (18, 20, 22) peut être commandée de telle sorte qu'un écart vertical affecté à l'unité de levage correspondante (18, 20, 22), entre l'unité de base (12) et l'unité support (14), peut être commandé de telle sorte qu'un pivotement de l'unité support (14) autour d'un axe horizontal, par rapport à l'unité de base (12), peut être commandé. Les unités de levage (18, 20, 22) peuvent respectivement comporter un piston (86) rétractable et déployable. L'invention concerne également une table à mouvements croisés comportant un tel dispositif de positionnement.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung (10), mit einer Grundeinheit (12) und einer Trageinheit (14), wobei die Trageinheit (14) an oder auf der Grundeinheit (12) gelagert und relativ zu der Grundeinheit (12) horizontal bewegbar ist und zum Tragen eines zu positionierenden Objektes eingerichtet ist. Es ist vorgesehen, dass zwischen der Grundeinheit (12) und der Trageinheit (14) eine oder mehrere Hubeinheiten (18, 20, 22) angeordnet sind, die sich jeweils von der Grundeinheit (12) bis an die Trageinheit (14) erstrecken, wobei jede der Hubeinheiten (18, 20, 22) derart steuerbar ist, dass ein der betreffenden Hubeinheit (18; 20; 22) zugeordneter vertikaler Abstand zwischen der Grundeinheit (12) und der Trageinheit (14) steuerbar ist, so dass eine Schwenkung der Trageinheit (14) um eine horizontale Achse relativ zu der Grundeinheit (12) steuerbar ist. Die Hubeinheiten (18, 20, 22) können jeweils einen ein- und ausfahrbaren Kolben (86) aufweisen. Die Erfindung betrifft ferner einen Kreuztisch mit einer solchen Positioniervorrichtung.
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)