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1. (WO2014086836) ANTRIEBS- UND KOMPENSATIONSSCHALTUNG FÜR KAPAZITIVE MEMS-STRUKTUREN

Pub. No.:    WO/2014/086836    International Application No.:    PCT/EP2013/075498
Publication Date: Fri Jun 13 01:59:59 CEST 2014 International Filing Date: Thu Dec 05 00:59:59 CET 2013
IPC: G01C 19/5726
Applicants: ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITÄT FREIBURG
Inventors: ROMBACH, Stefan
MARX, Maximilian
MANOLI, Yiannos
Title: ANTRIEBS- UND KOMPENSATIONSSCHALTUNG FÜR KAPAZITIVE MEMS-STRUKTUREN
Abstract:
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Schaltung zum Ansteuern einer kapazitiven MEMS-Struktur mit mindestens einem zu einer Schwingbewegung anregbaren Schwingerelement und einer elektrostatischen Anregungseinheit, die mindestens einen ersten und einen zweiten Eingangsanschluss besitzt. Die Schaltung umfasst einen Hochspannungsgenerator zum Erzeugen einer Hochspannung aus einer Versorgungsspannung, wobei der Hochspannungsgenerator mit den beiden Eingangsanschlüssen verbindbar ist. Mindestens ein erster und ein zweiter Pumpkondensator lädt die elektrostatische Anregungseinheit auf, wobei ein erster Anschluss des ersten Pumpkondensators mit dem Hochspannungsgenerator verbunden ist und mit dem ersten Eingangsanschluss verbindbar ist, und ein erster Anschluss des zweiten Pumpkondensators mit dem Hochspannungsgenerator verbunden ist und mit dem zweiten Eingangsanschluss verbindbar ist. Eine Steuereinheit ist zum Aufprägen eines Wechselsignals mit zweiten Anschlüssen eines jeden Pumpkondensators verbunden und mindestens ein Niederspannungsoperationsverstärker erzeugt einen Korrekturanteil des Wechselsignals in Abhängigkeit von einer aktuellen Position des Schwingerelements oder von einer anderen Stellgröße.