EP2013075096 SCANVORRICHTUNG ZUM SCANNEN EINES LASERSTRAHLS IN EINER ARBEITSEBENE

1. (WO2014083158) SCANVORRICHTUNG ZUM SCANNEN EINES LASERSTRAHLS IN EINER ARBEITSEBENE

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Übersetzung: Original-->Deutsch

Veröff.-Nr.:		WO/2014/083158		Internationale Anmeldenummer		PCT/EP2013/075096
Veröffentlichungsdatum:		05.06.2014		Internationales Anmeldedatum:		29.11.2013

IPC:

G02B 26/10 (2006.01), G02B 27/09 (2006.01), B23K 26/06 (2014.01), B23K 26/08 (2014.01), G02B 13/00 (2006.01), G02B 13/22 (2006.01)

Anmelder:

LIMO PATENTVERWALTUNG GMBH & CO. KG [DE/DE]; Bookenburgweg 4-8 44319 Dortmund (DE)

Erfinder:

STEINER, Ingo; (DE)

Vertreter:

FRITZ PATENT- & RECHTSANWÄLTE; Postfach 15 80 59705 Arnsberg (DE)

Prioritätsdaten:

10 2012 111 601.6

29.11.2012

Titel

(DE) SCANVORRICHTUNG ZUM SCANNEN EINES LASERSTRAHLS IN EINER ARBEITSEBENE
(EN) SCANNING DEVICE FOR SCANNING A LASER BEAM IN A WORKING PLANE
(FR) DISPOSITIF DE BALAYAGE DESTINÉ À BALAYER UN FAISCEAU LASER AU SEIN D'UN PLAN DE TRAVAIL

Zusammenfassung:

(DE)Die Erfindung betrifft eine Scanvorrichtung zum Scannen eines Laserstrahls (1) in einer Arbeitsebene (2), umfassend optische Wellenfronttransformationsmittel (3), die so ausgebildet sind, dass sie den Laserstrahl (1) derart beeinflussen können, dass der Laserstrahl (1) nach einem Hindurchtritt durch die optischen Wellenfronttransformationsmittel (3) in zumindest einer Richtung eine Top-Hat-Winkelverteilung auf weist, Scanmittel, die so ausgebildet sind, dass sie den Laserstrahl (1) in der Arbeitsebene (2) in zwei Raumrichtungen bewegen können, sowie ein Objektivmittel (4) mit einer Anzahl hintereinander angeordneter Linsen (40, 41, 42, 43), das im Strahlenweg des Laserstrahls (1) zwischen den Scanmitteln und der Arbeitsebene (2) angeordnet ist und so ausgebildet ist, dass es eine Fouriertransformation des Laserstrahls (1) mit der Top-Hat-Winkelverteilung bewirken kann, wobei die Scanmittel genau einen Spiegel (5) umfassen, der um zwei Drehachsen, die sich in einer Pupillenebene (6) des Objektivmittels (4) in einem Drehpunkt (9) schneiden, drehbar ist.
(EN)The invention relates to a scanning device for scanning a laser beam (1) in a working plane (2) comprising: optical wave front transformation means (3) which are designed such that they are able to influence the laser beam (1) in such a manner that the laser beam (1) has a top hat angular distribution in at least one direction after a passage through the optical wave front transformation means (3); scanning means which are so configured that they can move the laser beam (1) in the working plane (2) in two spatial directions; and an objective means (4) with a number of lenses (40, 41, 42, 43) arranged one after another. Said objective means is arranged in the beam path of the laser beam (1) between the scanning means and the working plane (2) and is designed such that it can cause a Fourier transformation of the laser beam (1) with the top hat angular distribution. The scanning means comprises precisely one mirror (5), which is rotatable around two axes of rotation that intersect in a pupil plane (6) of the objective means (4) at a point of rotation (9).
(FR)L'invention concerne un dispositif de balayage qui est destiné à balayer un faisceau laser (1) au sein d'un plan de travail (2) et qui comprend des moyens optique de transformation de front d'onde (3) lesquels sont réalisés tels qu'ils peuvent influencer le faisceau laser (1) de manière à ce que le faisceau laser (1) présente, suite à son passage à travers les moyens optiques de transformation de front d'onde (3), dans au moins une direction une distribution angulaire rappelant un haut-de-forme (top hat), ledit dispositif comprenant en outre des moyens de balayage lesquels sont réalisés tels qu'ils permettent de déplacer le faisceau laser (1) au sein d'un plan de travail(2) dans deux directions spatiales, et un moyen d'objectif (4) lequel comporte un certain nombre de lentilles (40, 41, 42, 43) disposées les unes derrière les autres et lequel est disposé dans la trajectoire du faisceau laser (1) entre les moyens de balayage et le plan de travail (2) et lequel est réalisé tel qu'il permet de soumettre le faisceau laser (1) à une transformation de Fourrier en mettant en œuvre ladite distribution angulaire rappelant un haut-de-forme, les moyens de balayage comprenant exactement un miroir (5) pouvant pivoter autour de deux axes de rotation lesquels se coupent, au sein d'un plan de pupille (6) du moyen d'objectif (4), dans un point de rotation (9).

Designierte Staaten:

AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).

Veröffentlichungssprache:	German (DE)
Anmeldesprache:	German (DE)

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