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1. (WO2014082746) VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON SCHICHTOBERFLÄCHEN UND VORRICHTUNG DAZU

Pub. No.:    WO/2014/082746    International Application No.:    PCT/EP2013/003595
Publication Date: Fri Jun 06 01:59:59 CEST 2014 International Filing Date: Fri Nov 29 00:59:59 CET 2013
IPC: C23C 14/32
C23C 14/06
Applicants: OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, TRÜBBACH
Inventors: RAMM, Jürgen
WIDRIG, Beno
SEIBERT, Florian
SOBIECH, Matthias, Lukas
Title: VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON SCHICHTOBERFLÄCHEN UND VORRICHTUNG DAZU
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Beschichtungsverfahren auf der Basis der Abscheidung aus der Gasphase mittels Funkenverdampfen mit den Schritten: Auswahl eines ersten Targets als Materialquelle für die Beschichtung, Bereitstellung einer Beschichtungskammer mit Funkenverdampfungsquelle die zumindest das ausgewählte Target umfasst, Beladen der Beschichtungskammer mit zu beschichtenden Substraten, Abpumpen der Beschichtungskammer auf einen für die Funkenverdampfung geeigneten Prozessdruck, Zünden und betreiben des Funkens so dass vom ersten Target Material verdampft wird, welches sich auf den zu beschichtenden Substraten niederschlägt, gegebenenfalls nach Reaktion mit einem in die Beschichtungskammer eingelassenen Reaktivgas. Dabei umfasst das erste Target zumindest einen solchen Matrixbestandteil und einen solche Dotierungsbestandteil, dass der Dotierungsbestandteil einen um mindestens 500°C niedrigeren Schmelzpunkt als der Matrixbestandteil aufweist und ein geschmolzener Tropfen des Dotierungsbestandteils auf einer festen Oberfläche des Matrixberstandteils einen Kontaktwinkel von mindestens 90° einnimmt.