WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO2014016178) VORRICHTUNG ZUR BESTRAHLUNG EINES SUBSTRATS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2014/016178    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2013/065082
Veröffentlichungsdatum: 30.01.2014 Internationales Anmeldedatum: 17.07.2013
IPC:
H01L 21/67 (2006.01)
Anmelder: HERAEUS NOBLELIGHT GMBH [DE/DE]; Heraeusstrasse 12-14 63450 Hanau (DE)
Erfinder: LINOW, Sven; (DE).
VON RIEWEL, Larisa; (DE)
Prioritätsdaten:
10 2012 106 667.1 23.07.2012 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUR BESTRAHLUNG EINES SUBSTRATS
(EN) DEVICE FOR IRRADIATING A SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF D'IRRADIATION D'UN SUBSTRAT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Bekannte Vorrichtungen zur Bestrahlung eines Substrats weisen ein Gehäuse, sowie innerhalb des Gehäuses eine Aufnahme für das zu bestrahlende Substrat mit einer kreisrunden Bestrahlungsfläche und einen ersten Strahler für die Erzeugung optischer Strahlung mit einem in einer parallel zur Bestrahlungsfläche verlaufenden Krümmungsebene angeordneten, ersten Strahlerrohr mit einem Strahlerrohr-Ende auf, wobei die Aufnahme und der erste Strahler relativ zueinander bewegbar sind. Bei diesen Vorrichtungen umfasst die Bestrahlungsfläche eine erste halbkreisförmige Teilfläche und eine zweite halbkreisförmige Teilfläche. Um hiervon ausgehend eine Vorrichtung zur Bestrahlung eines Substrats anzugeben, die eine rotationssymmetrisch-homogene Temperaturverteilung des Substrats ermöglicht, und die darüber hinaus einen geringen konstruktiven und steuerungstechnischen Aufwand erfordert, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das erste Strahlerrohr einen gebogenen Beleuchtungs-Längenabschnitt hat, welcher in der Krümmungsebene mit spiegelsymmetrisch-ovaler Grundform verläuft, wobei der erste Beleuchtungs-Längenabschnitt im Wesentlichen einer der halbkreisförmigen Teilflächen zugeordnet ist.
(EN)Known devices for irradiating a substrate have a housing, a receptacle with a circular irradiation surface inside the housing for the substrate to be irradiated, and a first radiator for generating optical radiation, with a first radiator tube having a radiator tube end and arranged in a plane of curvature running parallel to the irradiation surface, wherein the receptacle and the first radiator are movable relative to one another. In these devices, the irradiation surface comprises a first semicircular sub-surface and a second semicircular sub-surface. In order to specify a device for irradiating a substrate proceeding from this point that allows a rotationally symmetrical, homogeneous temperature distribution of the substrate and in addition requires low design effort and control technology expense, according to the invention the first radiator tube has a bent illumination longitudinal section, which runs with a mirror-symmetric oval basic shape in the plane of curvature, wherein the first illumination longitudinal section is associated substantially with one of the semicircular sub-surfaces.
(FR)Des dispositifs connus permettant d'irradier un substrat présentent un boîtier comportant un logement destiné au substrat à irradier avec une surface circulaire d'irradiation, et un premier projecteur pour générer un rayonnement optique muni d'un premier tube de projecteur ayant une extrémité de tube de projecteur et étant disposé dans un plan de courbure orienté en parallèle à la surface d'irradiation. Le logement et le premier projecteur sont mobiles relativement l'un envers l'autre. Dans ces dispositifs, la surface d'irradiation comporte une première surface partielle semi-circulaire et une deuxième surface partielle semi-circulaire. Partant de là, et afin de mentionner un dispositif d'irradiation d'un substrat qui permet une répartition de température homogène et symétrique en rotation du substrat, et qui de plus requiert peu de frais pour la construction et la technique de commande, l'invention prévoit que le premier tube de projecteur présente une section longitudinale d'éclairage incurvée, laquelle s'étend dans le plan de courbure selon une forme ovale de symétrie spéculaire ; la première section longitudinale d'éclairage étant associée essentiellement à une surface partielle semi-circulaire.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)