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1. (WO2014009388) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM WÄRMEBEHANDELN EINES GEGENSTANDS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2014/009388    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2013/064518
Veröffentlichungsdatum: 16.01.2014 Internationales Anmeldedatum: 09.07.2013
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
Anmelder: SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE [FR/FR]; 18, avenue d'Alsace F-92400 Courbevoie (FR)
Erfinder: FÜRFANGER, Martin; (DE).
JOST, Stefan; (DE).
PALM, Jörg; (DE)
Vertreter: GEBAUER, Dieter; Splanemann Patentanwälte Rumfordstraße 7 80469 München (DE)
Prioritätsdaten:
12175615.9 09.07.2012 EP
Titel (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM WÄRMEBEHANDELN EINES GEGENSTANDS
(EN) DEVICE AND METHOD FOR HEAT TREATING AN OBJECT
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT THERMIQUE D'UN OBJET
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Wärmebehandeln eines Gegenstands, insbesondere eines beschichteten Substrats, mit einem insbesondere gasdicht verschließbaren Gehäuse das einen Hohlraum umgrenzt, wobei der Hohlraum eine Trennwand aufweist, durch die der Hohlraum in einen Prozessraum zum Aufnehmen des Gegenstands und einen Zwischenraum unterteilt ist, wobei die Trennwand über eine oder mehrere Öffnungen verfügt, die so ausgebildet sind, dass die Trennwand als Barriere für die Diffusion eines durch die Wärmebehandlung des Gegenstands im Prozessraum erzeugten gasförmigen Stoffs aus dem Prozessraum in den Zwischenraum wirkt. Hierbei weist das Gehäuse wenigstens einen mit einer Kühleinrichtung zu dessen aktiven Kühlung gekoppelten Gehäuseabschnitt auf, wobei die Trennwand zwi- schen dem Gegenstand und dem kühlbaren Gehäuseabschnitt angeordnet ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung die Verwendung einer Trennwand als Diffusionsbarriere in einer Vorrichtung zum Wärmebehandeln eines Gegenstands sowie ein entsprechendes Verfahren zum Wärmebehandeln eines Gegenstands.
(EN)The present invention relates to a device for heat treating an object, particularly a coated substrate, having a casing which can be closed, particularly in a gas-tight manner, and which encloses a hollow space, wherein the hollow space has a partition wall by means of which the hollow space is subdivided into a process space for accommodating the object and an intermediate space, wherein the partition wall has one or a plurality of openings which are formed in such a way that the partition wall acts as a barrier to the diffusion from the process space into the intermediate space of a gaseous substance generated by the heat treatment of the object in the process space. The casing has at least one casing section coupled to a cooling device for actively cooling said casing, wherein the partition wall is arranged between the object and the casing section which can be cooled. Furthermore, the invention relates to the use of a partition wall as a diffusion barrier in a device for the heat treatment of an object and a corresponding method for heat treating an object.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de traitement thermique d'un objet, en particulier d'un substrat revêtu, comprenant un boîtier qui peut être fermé en particulier de manière étanche aux gaz et délimite une cavité, celle-ci présentant une cloison par laquelle la cavité est subdivisée en une chambre de processus pour recevoir l'objet et une chambre intermédiaire, la cloison disposant d'une ou plusieurs ouvertures qui sont formées de manière que la cloison agisse comme barrière à la diffusion d'une substance gazeuse produite dans la chambre de processus par le traitement thermique de l'objet de la chambre de processus dans la chambre intermédiaire. Le boîtier présente au moins une partie de boîtier accouplée à un dispositif de refroidissement pour son refroidissement actif, la cloison étant disposée entre l'objet et la partie de boîtier refroidissable. L'invention concerne également l'utilisation d'une cloison comme barrière de diffusion dans un dispositif de traitement thermique d'un objet ainsi qu'un procédé correspondant pour le traitement thermique d'un objet.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)